[实用新型]一种石墨盘

权利要求书

1.一种石墨盘，用于放置衬底，包括石墨盘本体和转轴，石墨盘本体包括若干用于放置衬底的凹槽，其特征在于：所述凹槽底部连通有中空腔室，相邻的两个中空腔室通过设置气道连通；转轴设置于石墨盘本体中心的下方，转轴外包裹管道，管道与气道连通；还包括抽气装置，所述抽气装置与管道连通，用于将中空腔室、气道和管道中的空气抽出，使得衬底吸附于凹槽的底部。

2.根据权利要求1所述的一种石墨盘，其特征在于：所述石墨盘本体包括上载盘和下载盘，上载盘的顶部设置凹槽，上载盘的底部设置上腔槽；下载盘的顶部设置下腔槽和气道，气道使得相邻的两个下腔槽连通。

3.根据权利要求2所述的一种石墨盘，其特征在于：所述上载盘设置在下载盘上，使得上腔槽和下腔槽匹配形成中空腔室。

4.根据权利要求2所述的一种石墨盘，其特征在于：所述上载盘和下载盘通过凹孔与固定柱的配合实现可分离式连接。

5.根据权利要求2所述的一种石墨盘，其特征在于：所述下载盘底部中心设置槽孔，槽孔处设置转轴。

6.根据权利要求1所述的一种石墨盘，其特征在于：所述管道与下载盘之间通过固定卡位固定。

7.根据权利要求1所述的一种石墨盘，其特征在于：所述管道包括连通的连接管道和抽气管道，连接管道与气道连通，抽气管道连接至抽气装置。

8.根据权利要求7所述的一种石墨盘，其特征在于：所述抽气管道和连接管道为钨管道或者铼管道。

9.根据权利要求1所述的一种石墨盘，其特征在于：所述气道和中空腔室内壁设置一层陶瓷层。