[实用新型]一种异形面曝光装置

权利要求书

1.一种异形面曝光装置，包括机座，其特征在于：所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有至少一个固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座的上表面与工件的下表面形状适配，所述固定座上设置有负压吸附孔，所述负压吸附孔与负压系统连通，所述固定座上设置有用于对工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对工件进行精定位的精定位检测相机。

2.如权利要求1所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述Y滑座上还设置有用来测量曝光头组件与工件的异形面之间距离的测距传感器，定义X的正方向为工件的进给方向，所述测距传感器位于曝光头组件的进给方向的上游侧。

3.如权利要求2所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述曝光头组件包括沿Z方向滑动安装于Y滑座上的相机支架，所述相机支架上固定有曝光头本体，所述调焦动力装置安装于Y滑座和相机支架之间，所述精定位检测相机和测距传感器固定于相机支架上。

4.如权利要求3所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述调焦动力装置包括调焦伺服电机，该调焦伺服电机通过丝杠螺母机构与相机支架传动连接。

5.如权利要求1至4任一项所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述固定座包括可拆卸固定在X滑座上的底板，所述底板上设置有至少两个固定座体，每个固定座体的上表面与工件下表面的对应部位适配，所述每个固定座体上均设置了所述的负压吸附孔。

6.如权利要求5所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述固定座体包括两块间隔设置的支撑板，所述支撑板的上端均设置有安装台阶，所述安装台阶上可拆卸安装有负压吸板，所述负压吸附孔设置在负压吸板上，该负压吸板的上表面与工件下表面的对应部位适配。

7.如权利要求6所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述两块支撑板的侧面还可拆卸固定有吸板定位块。

8.如权利要求1所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述粗定位装置包括X方向定位机构和Y方向定位机构，所述X方向定位机构安装于固定座上从X方向定位工件，所述Y方向定位机构安装于固定座上从Y方向定位工件。

9.如权利要求8所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述X方向定位机构包括间隔设置于固定座上的第一X定位块和第二X定位块，所述第一X定位块和第二X定位块之间的区域构成了工件的放置区域，所述第一X定位块或/和第二X定位块沿X方向滑动安装于固定座上，所述第一X定位块或/和第二X定位块由X定位动力装置驱动。

10.如权利要求9所述的一种异形面曝光装置，其特征在于：所述Y方向定位机构包括间隔设置于固定座上的第一Y定位块和第二Y定位块，所述第一Y定位块或/和第二Y定位块沿Y方向滑动安装于固定座上，所述第一Y定位块或/和第二Y定位块由Y定位动力装置驱动。