[实用新型]一种异形面曝光装置

说明书

本实用新型公开了一种异形面曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，X滑座上设置有至少一个固定座，工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，固定座的上表面与工件的下表面形状适配，固定座上设置有负压吸附孔，负压吸附孔与负压系统连通，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有精定位检测相机。该曝光装置可以主动调节曝光头组件的焦距以实现异形面的直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。

技术领域

本实用新型涉及一种异形曝光装置，属于曝光设备技术领域。

背景技术

目前工件上的图案形成的方式有多种，一般会根据工件的待曝光面的情况进行选择。对于待曝光面为平面的工件，可以选择丝印、转印或者激光直写曝光的方式实现图案的生成；而对于待曝光面为异形面时，由于其表面的形状不平整，表面图案的形成也比较困难，主要是通过丝印或移印的工艺生成，丝印或移印的工艺主要优势是主材油墨价格较低，因此成本低廉，但是这种工艺设备投入较大，油墨膜厚大，线条有锯齿，依赖性检测效果差，图形准确性差。而异形面高低不平，若是利用激光曝光，难以保证待曝光面的图像清晰度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种异形面曝光装置，该曝光装置可以主动调节曝光头组件的焦距以实现异形面的直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种异形面曝光装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有至少一个固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座的上表面与工件的下表面形状适配，所述固定座上设置有负压吸附孔，所述负压吸附孔与负压系统连通，所述固定座上设置有用于对工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对工件进行精定位的精定位检测相机。

作为一种优选的方案，所述Y滑座上还设置有用来测量曝光头组件与工件的异形面之间距离的测距传感器，定义X的正方向为工件的进给方向，所述测距传感器位于曝光头组件的进给方向的上游侧。

作为一种优选的方案，所述曝光头组件包括沿Z方向滑动安装于Y滑座上的相机支架，所述相机支架上固定有曝光头本体，所述调焦动力装置安装于Y滑座和相机支架之间，所述精定位检测相机和测距传感器固定于相机支架上。

作为一种优选的方案，所述调焦动力装置包括调焦伺服电机，该调焦伺服电机通过丝杠螺母机构与相机支架传动连接。

作为一种优选的方案，所述固定座包括可拆卸固定在X滑座上的底板，所述底板上设置有至少两个固定座体，每个固定座体的上表面与工件下表面的对应部位适配，所述每个固定座体上均设置了所述的负压吸附孔。

作为一种优选的方案，所述固定座体包括两块间隔设置的支撑板，所述支撑板的上端均设置有安装台阶，所述安装台阶上可拆卸安装有负压吸板，所述负压吸附孔设置在负压吸板上，该负压吸板的上表面与工件下表面的对应部位适配。

作为一种优选的方案，所述两块支撑板的侧面还可拆卸固定有吸板定位块。

作为一种优选的方案，所述粗定位装置包括X方向定位机构和Y方向定位机构，所述X方向定位机构安装于固定座上从X方向定位工件，所述Y方向定位机构安装于固定座上从Y方向定位工件。