[实用新型]一种分压垫有效
| 申请号： | 201921567611.9 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210550375U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 高长有;张行富;陈志敏;张顼 | 申请（专利权）人： | 江苏京晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分压垫 | ||
【权利要求书】：
1.一种分压垫，设置在压力盘和陶瓷盘之间，其特征在于，包括：
垫片(100)，中心位置开设圆形贯穿孔(110)，其一面与压力盘粘接固定，另一面开设多道横向沟槽(120)和纵向沟槽(130)；
所述垫片(100)开设所述横向沟槽(120)和所述纵向沟槽(130)的一面还开设有去真空凹槽(140)和通气孔(150)；
其中，所述横向沟槽(120)和所述纵向沟槽(130)垂直交叉；
其中，所述去真空凹槽(140)穿过所述圆形贯穿孔(110)，两个所述通气孔(150)分别位于所述去真空凹槽(140)的两端槽体内。
2.根据权利要求1所述的分压垫，其特征在于，所述垫片(100)由聚氨酯材料制成，其与压力盘连接的一面均匀涂抹有粘合剂，所述垫片(100)与压力盘通过所述粘合剂粘接固定。
3.根据权利要求1所述的分压垫，其特征在于，所述横向沟槽(120)和所述纵向沟槽的槽宽为1～2mm，槽深为0.5～1mm。
4.根据权利要求3所述的分压垫，其特征在于，所述横向沟槽(120)和所述纵向沟槽的槽宽为2mm，槽深为0.8mm。
5.根据权利要求1所述的分压垫，其特征在于，所述垫片(100)的内外径之差是加工晶片直径的1.1～1.2倍。
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