[实用新型]一种硅片传输机构有效

专利信息
申请号: 201921555855.5 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN210640205U 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;李圣鹤 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 查杰
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 传输 机构
【说明书】:

本申请提供了一种硅片传输机构,所述的硅片传输机构包括一底座、分别安装在所述的底座的前后两端的第一安装座和第二安装座、传输电机、用于安装传输电机的电机安装座,所述的电机安装座固定安装在所述的底座上,所述的第一安装座和第二安装座安装有多个带轮,带轮上饶有用于传输硅片的传送带,多个带轮中的其中一个带轮被所述的传输电机驱动。本申请的一种硅片传输机构,通过传输电机驱动带轮的转动,从而带动传送带的运行,传送带向前运输硅片,本申请的传送带的绕行设计,能够适应移动座的前后移动,传送带始终处于张紧状态。使硅片的传输更加快捷方便。

技术领域

本申请涉及一种硅片传输机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。

发明内容

本申请要解决的技术问题是提供一种硅片传输机构。

为了解决上述技术问题,本申请提供了一种硅片传输机构,所述的硅片传输机构包括一底座、分别安装在所述的底座的前后两端的第一安装座和第二安装座、传输电机、用于安装传输电机的电机安装座,所述的电机安装座固定安装在所述的底座上,所述的第一安装座和第二安装座安装有多个带轮,带轮上饶有用于传输硅片的传送带,多个带轮中的其中一个带轮被所述的传输电机驱动。

优选地,底座上还安装有一沿前后方向设置的滑轨、能够在所述的滑轨上移动的移动座、用于驱动所述的移动座沿滑轨移动的驱动气缸,所述的驱动气缸固定安装在所述的底座上,所述的移动座位于第一安装座与第二安装座之间。

优选地,所述的移动座上安装有一伸出板,所述的伸出板的后端固定在移动座上,所述的伸出板的前端相对所述的移动座向前伸出,并插入至花篮中。

优选地,所述的第二安装座上安装有被所述的传输电机驱动的第一带轮、第二带轮、第三带轮,所述的伸出板的前端安装有第四带轮,所述的移动座上安装有第五带轮,所述的第一安装座上安装有第六带轮,所述的第二安装座上还安装有第七带轮,所述的传送带依次绕过第一带轮、第二带轮、第三带轮、第四带轮、第五带轮、第六带轮和第七带轮。

优选地,硅片传输机构还包括两个分别安装在传动带两侧的硅片置中机构。

优选地,所述的硅片置中机构包括固定在底座上的固定座、安装在所述的固定座上的置中气缸、被所述的置中气缸驱动的置中移动块,所述的置中移动块上固定有一置中片,所述的置中片的上端部安装有一置中轮安装座,所述的置中轮安装座上安装有两个置中轮,置中轮的轮轴方向为上下方向,置中轮的轮面用于接触传送带上的硅片。

优选地,所述的硅片传输机构还包括安装在所述的底座上的第一硅片感应器,所述的第一硅片感应器用于检测传送带上的硅片是否有重叠,当传送带上的硅片发生重叠时,第一硅片感应器发出信号。

优选地,所述的移动座上还设置有第二硅片感应器,所述的第二硅片感应器用于检测传送带上的硅片的有无。

本申请的一种硅片传输机构,通过传输电机驱动带轮的转动,从而带动传送带的运行,传送带向前运输硅片,本申请的传送带的绕行设计,能够适应移动座的前后移动,传送带始终处于张紧状态。使硅片的传输更加快捷方便。

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