[实用新型]一种硅片传输机构

权利要求书

1.一种硅片传输机构，其特征在于，所述的硅片传输机构包括一底座、分别安装在所述的底座的前后两端的第一安装座和第二安装座、传输电机、用于安装传输电机的电机安装座，所述的电机安装座固定安装在所述的底座上,所述的第一安装座和第二安装座安装有多个带轮，带轮上饶有用于传输硅片的传送带，多个带轮中的其中一个带轮被所述的传输电机驱动。

2.如权利要求1所述的一种硅片传输机构，其特征在于：底座上还安装有一沿前后方向设置的滑轨、能够在所述的滑轨上移动的移动座、用于驱动所述的移动座沿滑轨移动的驱动气缸，所述的驱动气缸固定安装在所述的底座上，所述的移动座位于第一安装座与第二安装座之间。

3.如权利要求2所述的一种硅片传输机构，其特征在于：所述的移动座上安装有一伸出板，所述的伸出板的后端固定在移动座上，所述的伸出板的前端相对所述的移动座向前伸出，并插入至花篮中。

4.如权利要求3所述的一种硅片传输机构，其特征在于：所述的第二安装座上安装有被所述的传输电机驱动的第一带轮、第二带轮、第三带轮，所述的伸出板的前端安装有第四带轮，所述的移动座上安装有第五带轮，所述的第一安装座上安装有第六带轮，所述的第二安装座上还安装有第七带轮，所述的传送带依次绕过第一带轮、第二带轮、第三带轮、第四带轮、第五带轮、第六带轮和第七带轮。

5.如权利要求1所述的一种硅片传输机构，其特征在于：硅片传输机构还包括两个分别安装在传动带两侧的硅片置中机构。

6.如权利要求5所述的一种硅片传输机构，其特征在于：所述的硅片置中机构包括固定在底座上的固定座、安装在所述的固定座上的置中气缸、被所述的置中气缸驱动的置中移动块，所述的置中移动块上固定有一置中片，所述的置中片的上端部安装有一置中轮安装座，所述的置中轮安装座上安装有两个置中轮，置中轮的轮轴方向为上下方向，置中轮的轮面用于接触传送带上的硅片。

7.如权利要求1所述的一种硅片传输机构，其特征在于：所述的硅片传输机构还包括安装在所述的底座上的第一硅片感应器，所述的第一硅片感应器用于检测传送带上的硅片是否有重叠，当传送带上的硅片发生重叠时，第一硅片感应器发出信号。

8.如权利要求2所述的一种硅片传输机构，其特征在于：所述的移动座上还设置有第二硅片感应器，所述的第二硅片感应器用于检测传送带上的硅片的有无。