[实用新型]一种可提高摆放数量的BAR条结构有效
申请号: | 201921546406.4 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN210379763U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 王忠政;张永;单智发 | 申请(专利权)人: | 全磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/02 | 分类号: | H01S5/02;H01S5/028 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 刘计成 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 摆放 数量 bar 结构 | ||
一种可提高摆放数量的BAR条结构,该BAR条由若干芯片结构连接而成,芯片结构的中部设置有长条形的脊条区,脊条区的两端分别延伸至该芯片结构的两端边缘;脊条区两侧的芯片结构上均设有一个第一金属区,两第一金属区关于脊条区对称设置,第一金属区的一侧设置有第二金属区,两第二金属区分别对称设置在脊条区的两侧;第一金属区与第二金属区的高度均大于脊条区的高度。本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,不需变更操作流程,也不需额外投资设备,可以简单方便可靠的提高BAR条光学镀膜时摆放的数量,还可以取消陪条的使用,解决了镀膜产能不足的问题,还避免了下条时脊条膜层剥落的问题,大大提高了良品率以及生产效率。
技术领域
本实用新型涉及一种激光器BAR条,具体涉及一种可提高摆放数量的BAR条结构。
背景技术
目前,光通信用半导体激光器的制备,代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向,得到了国际上各个国家的高度重视,光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前,光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工,在后端加工中BAR条端面光学镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。
BAR条光学镀膜,就是在BAR条的两端镀上相应的光学介质膜层,在镀膜过程为了保证镀膜质量,BAR条不能连续摆放,要在BAR条间夹放一根陪条,陪条的宽度比BAR条略窄,摆放时可使BAR条略微凸出。现有的方法是在一块玻璃片上摆放BAR条和陪条,这样只能保证上端有凸出,下端与陪条平齐,BAR条的下端与玻璃片直接接触,摆放时容易出现破损和脏污,而且没有凸出的那端在镀膜时就容易出现膜层黏连现象,在BAR条分离时就会出现膜层破损的情况,良品率降低,如何保证BAR条摆放时脊条的光学介质膜层的完整性,成为研究的重点及难点。
目前存在的问题有:1.在BAR条摆放时,会在BAR条间夹放一根陪条,镀膜结束后陪条无法再使用,造成浪费,成本高;2.陪条的端面如有破损,容易引起BAR条两端的光学介质膜层不完整,影响质量;3.BAR条摆放数量不多,光学镀膜产能较低。
因此,设计了一种不仅能提高摆放数量,而且在取消陪条的情况下,还能保有两端脊条的光学介电质的完整性的BAR条结构来解决上述问题。
实用新型内容
为克服上述现有技术中的不足,本实用新型目的在于提供一种可提高摆放数量的BAR条结构。
为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供的技术方案是:一种可提高摆放数量的BAR条结构,该BAR条由若干芯片结构连接而成,所述芯片结构的中部设置有长条形的脊条区,所述脊条区的两端分别延伸至该芯片结构的两端边缘;所述脊条区两侧的芯片结构上均设有一个第一金属区,两第一金属区关于所述脊条区对称设置,所述第一金属区的一侧设置有第二金属区,两第二金属区分别对称设置在所述脊条区的两侧;所述第一金属区与所述第二金属区的高度均大于所述脊条区的高度。
优选的技术方案为:所述脊条区包括中部凸起的脊条和两侧的凹槽,所述脊条区的上层设置有金属层。
优选的技术方案为:所述第一金属区与所述第二金属区的形状均为方型。
优选的技术方案为:所述第一金属区的面积大于所述第二金属区的面积。
优选的技术方案为:所述第一金属区与所述第二金属区的厚度均不小于所述脊条区金属层厚度的两倍。
优选的技术方案为:所述第一金属区到所述脊条区的距离大于所述第二金属区到所述脊条区的距离。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有的优点是:
本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,不需变更操作流程,也不需额外投资设备,可以简单方便可靠的提高BAR条光学镀膜时摆放的数量,还可以取消陪条的使用,解决了镀膜产能不足的问题,还避免了下条时脊条膜层剥落的问题,大大提高了良品率以及生产效率。
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