[实用新型]一种硅烷纯化用过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种硅烷纯化用过滤装置，包括密封罐体、端盖、法兰盘、上孔板、下孔板、过滤管、进气管、U型管和出气管，其中，密封罐体顶端固定连接有法兰盘，法兰盘上端通过螺栓固定连接有端盖，端盖上设置有出气管，密封罐体内部设置有过滤管、上孔板和下孔板，上孔板和下孔板上设置有可供过滤管通过的通孔，过滤管顶端和底端分别穿过上孔板和下孔板的通孔，进气管从密封罐体侧壁上部伸入密封罐体内部连接过滤管顶端的伸出密封罐体侧壁，过滤管底端连接U型管一侧的进气口，U型管另一侧的出气口位于密封罐体内部下孔板下方；总的，本实用新型具有有效利用密封罐体内部空间、增大过滤面积、过滤效果好的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种过滤装置，具体涉及一种硅烷纯化用过滤装置。

背景技术

在对硅烷进行纯化过程中，在灌装站压缩机前端安装纯化器，采用物理吸附的方法对硅烷中的磷离子进行纯化过滤，现有的纯化器主要采用下进上出的方式，使得硅烷从下至上直接通过吸附剂，对硅烷中的杂质离子进行吸附，过滤面积小，且仅进行一次过滤，过滤效果差，得到的气体纯度较低；所以，为解决上述问题，开发一种硅烷纯化用过滤装置很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种硅烷纯化用过滤装置，有效利用密封罐体内部空间，增大过滤面积，过滤效果好。

本实用新型的目的是这样实现的：一种硅烷纯化用过滤装置，包括密封罐体、端盖、法兰盘、上孔板、下孔板、过滤管、进气管、U型管和出气管，其中，所述密封罐体顶端固定连接有法兰盘，法兰盘上端通过螺栓固定连接有端盖，所述端盖上设置有出气管，所述密封罐体内部设置有过滤管、上孔板和下孔板，所述上孔板和下孔板上设置有可供过滤管通过的通孔，所述过滤管顶端和底端分别穿过上孔板和下孔板的通孔，所述进气管从密封罐体侧壁上部伸入密封罐体内部连接过滤管顶端的伸出密封罐体侧壁，所述过滤管底端连接U型管一侧的进气口，所述U型管另一侧的出气口位于密封罐体内部下孔板下方。

所述过滤管通过法兰盘分别与上孔板和下孔板固定连接在一起。

所述过滤管内部填充有吸附剂。

所述上孔板和下孔板之间从上至下依次设置有吸附剂、支撑物层和缓冲物层。

所述U型管至少为一个设置。

所述U型管的进气口和出气口处为喇叭型结构设置。

所述密封罐体采用不锈钢密封罐。

所述密封罐体内侧壁底部上设置有环形凸台，所述下孔板设置在环形凸台上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中通过在密封罐体内部设置过滤管，在密封罐体和过滤管内均设置有吸附剂，可增大气体的过滤面积，延长气体的过滤路径，过滤得到的气体纯度更高，过滤效果更好；通过U型管的设置，可对气体起到导向作用，减缓密封罐体内腔局部压力，防止密封罐体局部负荷过大，过滤效果更好；总的，本实用新型具有有效利用密封罐体内部空间、增大过滤面积、过滤效果好的优点。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图。

图2是图1中A部分放大结构示意图。

图3是本实用新型过滤管和U型管连接结构示意图。

图中：1、密封罐体 2、端盖 3、法兰盘 4、上孔板 5、下孔板 6、过滤管 7、进气管8、U型管 9、出气管 10、环形凸台 。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。

如图1、图2、图3所示，一种硅烷纯化用过滤装置，包括密封罐体1、端盖2、法兰盘3、上孔板4、下孔板5、过滤管6、进气管7、U型管8和出气管9。