[实用新型]一种硅烷纯化用过滤装置

权利要求书

1.一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：包括密封罐体（1）、端盖（2）、法兰盘（3）、上孔板（4）、下孔板（5）、过滤管（6）、进气管（7）、U型管（8）和出气管（9），其中，所述密封罐体（1）顶端固定连接有法兰盘（3），法兰盘（3）上端通过螺栓固定连接有端盖（2），所述端盖（2）上设置有出气管（9），所述密封罐体（1）内部设置有过滤管（6）、上孔板（4）和下孔板（5），所述上孔板（4）和下孔板（5）上设置有可供过滤管（6）通过的通孔，所述过滤管（6）顶端和底端分别穿过上孔板（4）和下孔板（5）的通孔，所述进气管（7）从密封罐体（1）侧壁上部伸入密封罐体（1）内部连接过滤管（6）顶端的伸出密封罐体（1）侧壁，所述过滤管（6）底端连接U型管（8）一侧的进气口，所述U型管（8）另一侧的出气口位于密封罐体（1）内部下孔板（5）下方。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述过滤管（6）通过法兰盘（3）分别与上孔板（4）和下孔板（5）固定连接在一起。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述过滤管（6）内部填充有吸附剂。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述上孔板（4）和下孔板（5）之间从上至下依次设置有吸附剂、支撑物层和缓冲物层。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述U型管（8）至少为一个设置。

6.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述U型管（8）的进气口和出气口处为喇叭型结构设置。

7.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述密封罐体（1）采用不锈钢密封罐。

8.根据权利要求1所述的一种硅烷纯化用过滤装置，其特征在于：所述密封罐体（1）内侧壁底部上设置有环形凸台（10），所述下孔板（5）设置在环形凸台（10）上。