[实用新型]一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉

说明书

本实用新型提供一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉。本实用新型一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，包括：罐体、抽气系统、排蜡组件、充气系统、加热系统、保温系统、测温系统、安全组件、气冷组件、水冷系统、控制系统及电源组件；所述罐体上设置有抽气接口与抽气系统连接；所述罐体上设置有充气接口与充气系统连接；所述罐体上设置有排气口，所述排气口与排蜡组件连接；所述罐体上设置有气冷接口与气冷组件连接；所述罐体上设置有加热系统接口与加热系统连接；所述测温接口与测温系统连接；所述罐体上的泄压口于与安全组件连接；所述水冷系统对陶瓷烧结炉进行通水冷却。本实用新型可缩短降温时间，提高产量，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及烧结炉技术，尤其涉及一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉。

背景技术

碳化硅陶瓷具有体积密度大、耐高温、传热快、耐酸碱腐蚀、高温强度大、抗氧化性强、热稳定性佳、热膨胀系数小、抗热震等优良热性，广泛应用于许多工业领域。如今，随着工业的发展，市场对碳化硅陶瓷坩埚的需求持续增长，竞争也是日趋激烈。

碳化硅坩埚的烧结工艺中温度处理环节最为重要，直接影响碳化硅坩埚成品的品质及成本。目前，市场上大多数碳化硅烧结炉的降温过程主要为自然冷却，占整个烧结工艺约80％的时间，使得烧结产品的产量较低，成本居高不下。因此高效、低廉的生产高品质的碳化硅陶瓷坩埚是其制备行业未来发展的方向。

实用新型内容

本实用新型提供一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，可以缩短降温时间，提高产量，降低成本。

本实用新型提供一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，包括：

罐体、抽气系统、排蜡组件、充气系统、加热系统、保温系统、测温系统、安全组件、气冷组件、水冷系统、控制系统及电源组件；

所述罐体包括中间罐和两侧罐盖，所述中间罐内部包括坩埚；

所述罐体上设置有抽气接口，所述抽气接口用于与抽气系统连接，所述抽气系统用于对罐体内气体压力进行控制；

所述罐体上设置有充气接口，所述充气接口用于与充气系统连接，所述充气系统用于向罐体内充气；

所述罐体上设置有排气口，所述排气口用于与排蜡组件连接，所述排蜡组件用于对罐体实现排蜡换气；

所述罐体上设置有气冷接口，所述气冷接口用于与气冷组件连接，所述气冷组件用于冷却罐体内气体；

所述罐体上设置有加热系统接口，所述加热系统接口用于与加热系统连接，所述加热系统包括加热器，所述加热器设置于坩埚外侧；

所述罐体上设置有测温接口，所述测温接口用于与测温系统连接，所述测温系统用于测量罐体内温度；

所述罐体上泄压口，所述泄压口用于与安全组件连接，所述安全组件用于调节炉内压力；

所述保温系统，包括中保温和侧保温，所述中保温设置于加热器外侧，所述侧保温设置于两侧罐盖内；

所述水冷系统，用于对所述陶瓷烧结炉进行通水冷却；

所述控制系统，用于控制烧结炉自动工作；

所述电源组件，用于提供电源。

进一步的，所述中间罐为中空双层结构，所述中间罐为卧式圆筒型，所述两侧罐盖为双层球冠型封头结构。

进一步的，所述两侧罐盖设有开合组件和旋开组件，所述开合组件和旋开组件采用气缸驱动。

进一步的，所述抽气系统包括：第一真空泵组、抽空阀门组件、抽空管道组件及真空测量组件。

进一步的，所述充气系统包括：气源、充气阀门组件和充气管道组件。