[实用新型]一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉

权利要求书

1.一种气冷型碳化硅陶瓷烧结炉，其特征在于，包括：

罐体、抽气系统、排蜡组件、充气系统、加热系统、保温系统、测温系统、安全组件、气冷组件、水冷系统、控制系统及电源组件；

所述罐体包括中间罐和两侧罐盖，所述中间罐内部包括坩埚；

所述罐体上设置有抽气接口，所述抽气接口用于与抽气系统连接，所述抽气系统用于对罐体内气体压力进行控制；

所述罐体上设置有充气接口，所述充气接口用于与充气系统连接，所述充气系统用于向罐体内充气；

所述罐体上设置有排气口，所述排气口用于与排蜡组件连接，所述排蜡组件用于对罐体实现排蜡换气；

所述罐体上设置有气冷接口，所述气冷接口用于与气冷组件连接，所述气冷组件用于冷却罐体内气体；

所述罐体上设置有加热系统接口，所述加热系统接口用于与加热系统连接，所述加热系统包括加热器，所述加热器设置于坩埚外侧；

所述罐体上设置有测温接口，所述测温接口用于与测温系统连接，所述测温系统用于测量罐体内温度；

所述罐体上设置有泄压口，所述泄压口用于与安全组件连接，所述安全组件用于调节炉内压力；

所述保温系统，包括中保温和侧保温，所述中保温设置于加热器外侧，所述侧保温设置于两侧罐盖内；

所述水冷系统，用于对所述陶瓷烧结炉进行通水冷却；

所述控制系统，用于控制烧结炉自动工作；

所述电源组件，用于提供电源。

2.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述中间罐为中空双层结构，所述中间罐为卧式圆筒型，所述两侧罐盖为双层球冠型封头结构。

3.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述两侧罐盖设有开合组件和旋开组件，所述开合组件和旋开组件采用气缸驱动。

4.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述抽气系统包括：第一真空泵组、抽空阀门组件、抽空管道组件及真空测量组件。

5.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述充气系统包括：气源、充气阀门组件和充气管道组件。

6.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述排蜡组件包括：排蜡管道、过滤罐及排蜡泵组。

7.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述气冷组件包括：气冷管道组件、控制阀门、热交换器组件及第二真空泵组。

8.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述加热系统包括电极、加热器、坩埚及绝缘组件。

9.根据权利要求1所述的陶瓷烧结炉，其特征在于，

所述陶瓷烧结炉还包括：加热器支撑台，所述加热器支撑台上设有加热器支撑柱，用于支撑加热器；

所述陶瓷烧结炉还包括：保温支撑台，保温支撑台上设有保温支撑柱，用于支撑中保温；

所述陶瓷烧结炉还包括：坩埚支撑台，所述坩埚支撑台上设有坩埚支撑柱，用于支撑坩埚；

所述中间罐上设有罐体支脚，所述罐体支脚使得罐体平稳放置在地面上。