[实用新型]一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘

权利要求书

1.一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：包括内部注满水的陶瓷压力盘(6)，所述陶瓷压力盘(6)包括外壳(61)和螺旋板(62)，所述螺旋板(62)固定连接于所述外壳(61)的内壁，且将所述陶瓷压力盘(6)分为上下两个部分，下半部分为平面螺旋状的引导槽(64)，上半部分为扇形槽，该扇形槽的下端与所述引导槽(64)相连通，所述螺旋板(62)最高端的所述扇形槽内连通有出水管(4)，所述螺旋板(62)最低端的所述引导槽(64)内连通有进水管(5)。

2.如权利要求1所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述扇形槽由若干个固定在所述螺旋板(62)上表面的隔板(63)交替组成。

3.如权利要求2所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：若干个所述隔板(63)的高度不一，且上表面与所述外壳(61)相齐平。

4.如权利要求3所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述陶瓷压力盘(6)的内部中心处设置有中柱，所述中柱的内部开设有所述出水管(4)和所述进水管(5)，所述出水管(4)位于所述中柱的最高端且与所述扇形槽相连通，所述进水管(5)位于所述中柱的最低端且与所述螺旋板(62)相连通。

5.如权利要求4所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述隔板(63)分为两种，分别为一侧固定于所述外壳(61)内壁，一侧固定于所述中柱外壁。

6.如权利要求3所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述螺旋板(62)起始端与终止端位于同一直线上的不同高度。

7.如权利要求4所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述陶瓷压力盘(6)上表面盖合有安装盘(3)，所述安装盘(3)的内部开设有所述出水管(4)和所述进水管(5)并与下方所述陶瓷压力盘(6)内部中柱开设的所述出水管(4)和所述进水管(5)相对应连通。

8.如权利要求7所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述安装盘(3)的上端固定连接有气缸(2)的延伸轴，所述气缸(2)的上端设置有旋转接头(1)。

9.如权利要求1所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述陶瓷压力盘(6)的下表面固定连接有陶瓷载盘(7)，所述陶瓷载盘(7)的下表面设置有晶片(8)。

10.如权利要求9所述的一种带水冷功能的抛光机陶瓷压力盘，其特征在于：所述晶片(8)位于对其进行抛光打磨的抛光盘(9)的上表面。