[实用新型]一种晶圆化学镀治具

权利要求书

1.一种晶圆化学镀治具，其特征在于，所述治具包含层叠固定的一组托盘，所述托盘包含矩形底盘，所述矩形底盘的每一边均至少开设有一条向对边延展的通槽，并且所述矩形底盘的其中三条边上均设置有竖直的挡板。

2.如权利要求1所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述通槽靠近对边的部分为圆弧，其余部分为矩形。

3.如权利要求1所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述挡板与矩形底盘的内侧连接处设置有倒角。

4.如权利要求3所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述倒角为圆弧倒角。

5.如权利要求1所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述托盘的材质为石英或陶瓷。

6.如权利要求1所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述托盘通过设置在带有挡板一侧边缘的一根或两根竖直连接杆实现层叠固定。

7.如权利要求6所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述竖直连接杆的上部设置有作为提手的横杆。

8.如权利要求1所述晶圆化学镀治具，其特征在于，所述矩形底盘未设有挡板的一条边及其对边上的通槽数量均为一个，且通槽设置于该条边边长的1/2处；所述矩形底盘的另外两条边的通槽数量均为两个，且两个通槽分别设置于该条边边长的1/3和2/3处。