[实用新型]一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置有效

申请号：	201921538020.9	申请日：	2019-09-17
公开（公告）号：	CN210575853U	公开（公告）日：	2020-05-19
发明（设计）人：	凌俊;易治凯;郭小勇;王永谦	申请（专利权）人：	江苏爱康能源研究院有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/02
代理公司：	江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309	代理人：	隋玲玲
地址：	215600 江苏省***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置
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【权利要求书】：

1.一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：包括溢流槽（1）、上下设置的上槽（2）和下槽（3），所述上槽（2）的下部设有进液管（4）和进气管（11），顶部设有纯水喷淋（5），纯水进入溢流管路（6）和喷淋管路（7），氮气进入氮气管路（8），所述氮气管路（8）与进气管（11）连接，所述溢流管路（6）与进液管（4）连接，所述喷淋管路（7）与纯水喷淋（5）连接，所述下槽（3）内设有快排气缸（9），所述快排气缸（9）的活塞杆（9.1）连接快排盖（10），所述上槽（2）对应快排盖（10）设有快排口。

2.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述下槽设有出液口，所述出液口通过水泵（12）与溢流管路（6）连接。

3.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述进液管（4）和进气管（11）上均匀分布有小孔。

4.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述进液管（4）和进气管（11）平行设置且位于同一高度。

5.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述进液管（4）设有多个，所述进气管（11）设有多个。

6.根据权利要求4所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述上槽（2）内设有匀流板（13），所述匀流板（13）对应设置在进液管（4）、进气管（11）的上方。

7.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述纯水喷淋（5）设有两个，两个纯水喷淋（5）对应设置在上槽（2）的内侧。

8.根据权利要求1所述的一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置，其特征在于：所述下槽（3）底部设有排水阀，所述下槽（3）的槽壁对应排水阀设有高液位感应器（14）和低液位感应器（15）。

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