[实用新型]一种谐振器上片装置

权利要求书

1.一种谐振器上片装置，其特征在于：包括：

取件工位(1)，其放置有石英晶片镀膜工装治具，所述石英晶片镀膜工装治具内均匀排列有多个完成镀膜的石英晶片；

上片工位(2)，其放置有料盘(3)，所述料盘(3)均匀设置多个用于放置基座的料槽；

吸放机构，其由多个吸嘴(5)构成；所述吸嘴(5)的真空泵通过连接杆(6)与丝杆螺母(7)固接，所述丝杆螺母(7)适配沿前后方向延伸的丝杆(8)，所述丝杆(8)与吸嘴(5)一一对应、且沿竖直方向并列设置，所述丝杆(8)由伺服电机(9)驱动；

行走机构(10)，其在控制器的控制下带动吸放机构沿左右及上下方向移动、将吸取的石英晶片从取件工位(1)输送至上片工位(2)；所述吸放机构由控制器控制。

2.根据权利要求1所述的谐振器上片装置，其特征在于：所述取件工位(1)的左侧适配有给料滑道(11)，所述给料滑道(11)从左往右斜向下延伸、且宽度与石英晶片镀膜工装治具适配；所述取件工位(1)的右侧设置有挡板(12)。

3.根据权利要求2所述的谐振器上片装置，其特征在于：所述挡板(12)与吸放机构对应设置有位置传感器(13)，所述取件工位(1)的前侧设置工装出口、后侧适配由气缸(15)驱动的推杆(14)；所述位置传感器(13)及气缸(15)分别与控制器电连接。

4.根据权利要求1所述的谐振器上片装置，其特征在于：所述吸放机构固定在安装座(16)上。

5.根据权利要求4所述的谐振器上片装置，其特征在于：所述行走机构(10)包括驱动安装座(16)沿竖直方向移动的第一线性电机(17)和驱动第一线性电机(17)沿左右方向移动的第二线性电机(18)；所述第一线性电机(17)及第二线性电机(18)分别与控制器电连接。

6.根据权利要求1到5中任意一项所述的谐振器上片装置，其特征在于：所述料盘(3)适配有排列盘(19)，所述排列盘(19)内设置与料槽一一对应的定位槽(20)，所述定位槽(20)的深度低于基座的高度，所述定位槽(20)内设置对基座构成选位限定的凸起(4)。