[实用新型]一种近空间升华设备有效
| 申请号： | 201921520056.4 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN211611685U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 钱进;韩晓;张晗 | 申请（专利权）人： | 沈阳奇汇真空技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空间 升华 设备 | ||
1.一种近空间升华设备，包括工作台(1)，其特征在于:所述工作台(1)的上表面装配有支撑板(2)，所述支撑板(2)的下表面滑动装配有移动支撑架(3)，所述支撑板(2)的上表面装配有箱体(4)，所述箱体(4)内装配石英管(5)，且石英管(5)的内腔装配有基片(51)和源槽(52)，所述支撑板(2)的上表面滑动装配有移动板(6)，所述移动板(6)的上表面和箱体(4)的内腔均装配有加热装置(7)，所述石英管(5)的左右表面均装配有冷却装置(8)，所述冷却装置(8)装配在石英管(5)的左右两端。
2.根据权利要求1所述的一种近空间升华设备，其特征在于：所述基片(51)上装配有热偶。
3.根据权利要求1所述的一种近空间升华设备，其特征在于：所述加热装置(7)包括加热灯组(71)，所述加热灯组(71)装配在箱体(4)内，且组装配在石英管(5)的外侧。
4.根据权利要求1所述的一种近空间升华设备，其特征在于：所述移动支撑架(3)包括滑动架(31)，所述滑动架(31)的上表面装配有挡板(32)，所述挡板(32)的内侧表面装配有支撑架(33)，且石英管(5)装配在支撑架(33)的上表面。
5.根据权利要求1所述的一种近空间升华设备，其特征在于：所述冷却装置(8)包括水冷腔体(81)，所述水冷腔体(81)装配在支撑架(33)的上表面，且两个所述水冷腔体(81)的内腔表面均与石英管(5)的外表面贴合，两个所述水冷腔体(81)通过水管(82)相连接。
6.根据权利要求5所述的一种近空间升华设备，其特征在于:所述水冷所述水管(82)的进水端装配有循环泵(83)，且循环泵(83)装配在工作台(1)的内腔，所述水冷腔体(81)的下表面均装配有出水管(84)，所述工作台(1)的内腔装配有连接头(11)，所述连接头(11)的进水端与出水管(84)连接，且连接头(11)的出水端与循环泵(83)相连接。
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