[实用新型]基板烘烤设备

说明书

本实用新型提出一种基板烘烤设备，包括：第一箱体，所述基板置于所述第一箱体内，所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板；第二箱体，所述第一箱体内置于所述第二箱体内，所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通，所述第二箱体设有若干连接通道；第三箱体，所述第二箱体置于所述第三箱体内，所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通；以及输气装置，设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通，以提供干燥气体。本申请提供基板烘烤设备，解决了现有技术中基板的膜层厚度不均匀及发光效果不一致的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及有机发光显示器领域，尤其涉及一种基板烘烤设备。

背景技术

在印刷式OLED(有机发光显示器)及QLED(量子点发光显示器)喷墨打印工艺中，喷墨打印机将功能层墨水打印在玻璃基板上，功能层墨水经过烘烤装置处理后，在玻璃基板的表面得到膜厚均一的固化层。但是，现行烘烤装置在对刚性玻璃基板或者柔性基板进行烘烤时，基板的各个位置受热不均匀，使得整个基板难以得到膜厚均匀的膜层，最终在点亮基板时，基板各区域发光效果不一致，形成视觉效果差异。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种基板烘烤设备，旨在解决现有技术中基板的膜层厚度不均匀及发光效果不一致的技术问题。

为实现上述目的，本申请提出一种基板烘烤设备，所述设备包括：

第一箱体，所述基板置于所述第一箱体内，所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板；

第二箱体，所述第一箱体内置于所述第二箱体内，所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通，所述第二箱体设有若干连接通道；

第三箱体，所述第二箱体置于所述第三箱体内，所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通；以及

输气装置，设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通，以提供干燥气体。

可选地，所述喷气组件包括：若干喷气孔，所述若干喷气孔沿所述第一箱体的侧面均匀阵列，所述若干喷气孔的喷气方向朝向所述基板。

可选地，所述连接通道包括若干通气孔，所述若干通气孔沿所述第二箱体的侧面均匀阵列。

可选地，所述输气装置包括进气管，所述进气管穿设所述第三箱体以将所述干燥气体通过所述第二箱体均匀输送至所述第一箱体的中空腔体内。

可选地，所述通气孔的直径为4-10mm，所述喷气孔的直径为4-10mm。

可选地，所述输气装置输出的气体为氮气或者压缩空气。

可选地，所述设备还包括基板支撑机构，所述基板支撑机构设置在所述第一箱体内用于支撑所述基板。

可选地，所述基板支撑机构为成组设置的支撑板，一组所述支撑板设置在所述第一箱体的相对侧面，所述支撑板的一端与所述第一箱体的侧面固定连接、另一端悬空置于所述第一箱体的中空腔体内。

可选地，所述设备还包括排气管，所述排气管依次贯穿所述第三箱体、所述第二箱体后与所述第一箱体的中空腔体连通。

可选地，所述第一箱体的每一侧面均设置有所述喷气孔，所述第二箱体的每一侧面均设置有所述通气孔。