[实用新型]基板烘烤设备有效
| 申请号： | 201921515346.X | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN211000538U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 许剑;孙贤文;李启立;叶豪 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 宋朝政 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 | ||
1.一种基板烘烤设备，其特征在于，所述设备包括：
第一箱体，所述基板置于所述第一箱体内，所述第一箱体设有若干个喷气组件以用于输送气体干燥所述基板；
第二箱体，所述第一箱体置于所述第二箱体内，所述第二箱体的中空腔体通过所述喷气组件与所述第一箱体的中空腔体连通，所述第二箱体设有若干连接通道；
第三箱体，所述第二箱体置于所述第三箱体内，所述第三箱体的中空腔体通过所述连接通道与所述第二箱体的中空腔体连通；以及
输气装置，设于所述第三箱体外部并与所述第三箱体的中空腔体连通，以提供干燥气体。
2.如权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述喷气组件包括：若干喷气孔，所述若干喷气孔沿所述第一箱体的侧面均匀阵列，所述若干喷气孔的喷气方向朝向所述基板。
3.如权利要求2所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述连接通道包括若干通气孔，所述若干通气孔沿所述第二箱体的侧面均匀阵列。
4.如权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述输气装置包括进气管，所述进气管穿设所述第三箱体以将所述干燥气体通过所述第二箱体均匀输送至所述第一箱体的中空腔体内。
5.如权利要求3所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述通气孔的直径为4-10mm，所述喷气孔的直径为4-10mm。
6.如权利要求1-5任一项所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述输气装置输出的气体为氮气或者压缩空气。
7.如权利要求6所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述设备还包括基板支撑机构，所述基板支撑机构设置在所述第一箱体内用于支撑所述基板。
8.如权利要求7所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述基板支撑机构为成组设置的支撑板，一组所述支撑板设置在所述第一箱体的相对侧面，所述支撑板的一端与所述第一箱体的侧面固定连接、另一端悬空置于所述第一箱体的中空腔体内。
9.如权利要求8所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述设备还包括排气管，所述排气管依次贯穿所述第三箱体、所述第二箱体后与所述第一箱体的中空腔体连通。
10.如权利要求3所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述第一箱体的每一侧面均设置有所述喷气孔，所述第二箱体的每一侧面均设置有所述通气孔。
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