[实用新型]一种用于薄膜测试的双工位支架

说明书

本实用新型提供一种用于薄膜测试的双工位支架，支架本体包括底座，支架本体顶面设置有T型支架，T型支架的横杆两端为接口端，两个接口端上均各自通过升降装置与纳米压痕仪本体连接；底座顶面两端分别设置有工作台，两个纳米压痕仪本体的压头分别与靠近其一侧工作台的顶面中心对应布置；升降装置包括立柱。本实用新型结构合理，满足了两工位同时进行薄膜检测的要求，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型属于薄膜加工技术领域，特别涉及一种用于薄膜测试的双工位支架。

背景技术

制备薄膜材料的技术手段主要有：金属有机化学气相沉积(MOCVD)、磁控溅射(MS)、分子束外延法(MBE)、离子束辅助沉积(IBAD)，混合物理化学气相法(HPCVD)、脉冲激光沉积(PLD)等；不同的制备方法、不同的材料组份配比，甚至是不同的基底、不同的薄膜厚度，都使得薄膜材料的性质有所不同。

电子复合基材薄膜、复合基材薄膜等新型薄膜的出现，急需建立并补全其基础物理特性，这就对新型功能薄膜材料的表征测量提出了新的要求。现有技术通过纳米压痕仪来测试薄膜材料的刚度、硬度和弹性模量值，存在以下技术缺陷：一台纳米压痕仪仅有一个薄膜检测的工位，无法满足两工位同时进行薄膜检测，工作效率低的技术缺陷。

如何设计一种用于薄膜测试的双工位支架，如何满足两工位同时进行薄膜检测的要求，成为急需解决的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于薄膜测试的双工位支架，用于解决现有技术中存在的一台纳米压痕仪仅有一个薄膜检测的工位，无法满足两工位同时进行薄膜检测，工作效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于薄膜测试的双工位支架，包括支架本体，所述的支架本体包括底座，支架本体顶面设置有T型支架，T型支架的横杆两端为接口端，两个接口端上均各自通过升降装置与纳米压痕仪本体连接；

底座顶面两端分别设置有工作台，两个纳米压痕仪本体的压头分别与靠近其一侧工作台的顶面中心对应布置；

升降装置包括立柱。

于本实用新型的一实施例中，任意一个所述的接口端上均设置有第一连接板；立柱为L型结构，任意一个接口端上的立柱横杆均朝向T型支架的横杆中心，任意一个立柱的横杆中部外圈设置有第二连接板。

于本实用新型的一实施例中，所述的第一连接板与第二连接板通过螺栓连接。

于本实用新型的一实施例中，所述的T型支架的横杆采用矩形管，矩形管内设置有对称布置的C型胶垫，C型胶垫的开口均朝向T型支架的横杆中心，任意一个立柱的横杆均为十字形结构且安装在两个C型胶垫之间；

通过采用这种技术方案：C型胶垫能对立柱起到减震的作用。

于本实用新型的一实施例中，所述的T型支架设置在底座的中部。

任意一个所述的立柱竖杆上均设置有竖置的燕尾槽，燕尾槽均位于远离T型支架中心的端面上；

于本实用新型的一实施例中，两个纳米压痕仪本体分别与靠近其一侧立柱燕尾槽的连接处设置有燕尾滑块，燕尾滑块上靠近立柱的端面上设置有长方形沉槽，长方形沉槽内从上到下依次设置有顶板、中间板、底板，其中顶板上设置有通孔，中间板上设置有螺纹孔，底板上设置有沉孔。

于本实用新型的一实施例中，所述的通孔、螺纹孔、沉孔在同一条垂直线上。

于本实用新型的一实施例中，任意一个所述的立柱竖杆顶部设置有长方形封板，长方形封板的顶面设置有轴承座，轴承座内设置有螺杆，螺杆的顶部设置有手轮，螺杆的下部依次穿过长方形封板、燕尾滑块的顶板、燕尾滑块的中间板、最后安装在燕尾滑块底板沉孔内的含油轴套内；