[实用新型]一种整组硅片横移装置

说明书

本实用新型公开了一种整组硅片横移装置，该装置包括X向驱动机构、Y向驱动机构和顶升机构，X向驱动机构包括第一安装架，第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，X向驱动电机驱动X向传送带沿X向运动，第一安装架上还设有容纳槽，容纳槽的两边设置有支撑X向传送带的支撑轮，容纳槽的下方设置有转接轮，X向传送带与转接轮连接从而避让容纳槽；Y向驱动机构包括第二安装架，第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，Y向传送带设于容纳槽中；顶升机构与第二安装架连接，顶升机构可驱动第二安装架上升，将Y向传送带顶升出容纳槽。该装置结构合理，自动化程度高，可以满足硅片在多个工位之间的不同传输需求，提高硅片加工效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，特别涉及一种整组硅片横移装置。

背景技术

通常来讲，对太阳能电池硅片的工艺处理包括以下个步骤：1、制绒，将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌；2、扩散，硅片表面形成PN结；3、刻蚀，将硅片边缘的PN结去掉，防止电池短路；4、去PSG，清洗硅片表面，去除二氧化硅层；5、PECVD，在硅片表面镀一层减反射膜；6、印刷烧结，印刷电极及背场，并烘干烧结。

在上述工艺处理的各个工位之间，通常是利用多个机械手或传送带来实现硅片的传输，而由于硅片加工的复杂性，有时需要在多个工位之间实现多次不同方向的传输，现有的传输设备已很难满足其传输需求，因此，急需一种新型传输设备来实现上述功能。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构合理，效率高的整组硅片横移装置。其采用如下技术方案：

一种整组硅片横移装置，其包括：

X向驱动机构，包括第一安装架，所述第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，所述X向驱动电机驱动所述X向传送带沿X向运动，所述第一安装架上还设有容纳槽，所述容纳槽的两边设置有支撑所述X向传送带的支撑轮，所述容纳槽的下方设置有转接轮，所述X向传送带与所述转接轮连接从而避让所述容纳槽；

Y向驱动机构，包括第二安装架，所述第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，所述Y向传送带设于所述容纳槽中；

顶升机构，所述顶升机构与所述第二安装架连接，所述顶升机构可驱动所述第二安装架上升，将所述Y向传送带顶升出所述容纳槽。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述X向传送带组成一个X向传送带组，一个所述X向传送带组内的两个X向传送带相互配合传输一整组硅片。

作为本实用新型的进一步改进，所述X向传送带组的两侧设置有挡块。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一安装架上设有多个所述X向传送带组。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述Y向传送带组成一个Y向传送带组，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带相互配合传输一整组硅片。

作为本实用新型的进一步改进，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带分别设于两所述容纳槽内，所述第一安装架在两所述容纳槽之间形成凸起部，所述凸起部上的支撑轮支撑所述X向传送带。

作为本实用新型的进一步改进，所述Y向传送带底部设有支撑板。

作为本实用新型的进一步改进，所述顶升机构包括顶升气缸。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的整组硅片横移装置能够实现硅片在X方向和Y方向的传输，还能够实现硅片传输方向的切换。该装置结构合理，自动化程度高，可以满足硅片在多个工位之间的不同传输需求，可以大幅提高硅片加工效率。