[实用新型]一种用于特殊气体输送的钢瓶架

说明书

一种用于特殊气体输送的钢瓶架，包括：架子和工艺气体供应单元，工艺气体供应单元与架子上部连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口阀、高压隔离阀、调压阀、高压端过滤器、低压端过滤器、高压出口隔离阀、低压出口隔离阀、管路和压力表。本实用新型与传统技术相比，通过增设新型的工艺气体供应单元结构，实现手动惰性气体的快速运输，操作方便，节约成本。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种用于特殊气体输送的钢瓶架。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用许多特殊气体，其中一种为惰性气体(如N2)，其中的输送没有太多的危害，所以采用普通的手动操作系统，来节约成本。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体输送的钢瓶架，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体输送的钢瓶架，包括：架子和工艺气体供应单元，所述工艺气体供应单元与架子上部连接；

其中，所述工艺气体供应单元包括：入口阀、高压隔离阀、调压阀、高压端过滤器、低压端过滤器、高压出口隔离阀、低压出口隔离阀、管路和压力表，入口阀进口端通过Pigtail管路与钢瓶连接，所述入口阀出口端通过管路与高压隔离阀连接，所述入口阀中间结构与管路连接，所述高压隔离阀后端通过管路与高压端过滤器和调压阀连接，所述调压阀前端通过管路与高压隔离阀连接，所述调压阀后端通过管路与低压端过滤器连接，所述高压端过滤器前端通过管路与高压隔离阀连接，所述高压端过滤器后端通过管路与高压出口隔离阀连接，所述低压端过滤器前端通过管路与调压阀连接，所述低压端过滤器后端通过管路与低压出口隔离阀连接，所述压力表与管路连接，所述入口阀为三通阀。

进一步，所述管路包括：第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路和第七管路，所述第一管路与入口阀和钢瓶连接，所述第二管路与入口阀和高压隔离阀连接，所述第三管路与入口阀中间接口连接，所述第四管路与入口阀和高压隔离阀连接，所述第五管路与高压隔离阀和高压端过滤器连接，所述第六管路与高压隔离阀和调压阀连接，所述第七管路与调压阀和低压端过滤器连接。

进一步，所述入口阀包括：第一入口阀和第二入口阀，所述第一入口阀通过第二管路与高压隔离阀连接，所述第二入口阀通过第四管路与高压隔离阀连接。

进一步，所述高压隔离阀包括：第一高压隔离阀、第二高压隔离阀、第三高压隔离阀和第四高压隔离阀，所述第一高压隔离阀和第二高压隔离阀前端通过第二管路与第一入口阀连接，所述第三高压隔离阀和第四高压隔离阀通过第四管路与第二入口阀连接，所述第一高压隔离阀和第三高压隔离阀后端通过第五管路与高压端过滤器连接，所述第二高压隔离阀和第四高压隔离阀后端通过第六管路与调压阀连接。

进一步，所述工艺气体供应单元上设有单向阀、流量孔板、第一垫片式过滤器和第二垫片式过滤器，所述单向阀与第三管路后端连接，所述流量孔板与单向阀前端连接，所述第一垫片式过滤器与第一入口阀前端连接，所述第二垫片式过滤器与第二入口阀前端连接，所述第一垫片式过滤器和第二垫片式过滤器与钢瓶连接。

本实用新型的有益效果：