[实用新型]一种用于特殊气体输送的钢瓶架

权利要求书

1.一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于，包括：架子(100)和工艺气体供应单元(200)，所述工艺气体供应单元(200)与架子(100)上部连接；

其中，所述工艺气体供应单元(200)包括：入口阀(210)、高压隔离阀(220)、调压阀(230)、高压端过滤器(240)、低压端过滤器(250)、高压出口隔离阀(260)、低压出口隔离阀(270)、管路(280)和压力表(290)，所述入口阀(210)进口端通过Pigtail管路与钢瓶(1000)连接，所述入口阀(210)出口端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述入口阀(210)中间结构与管路(280)连接，所述高压隔离阀(220)后端通过管路(280)与高压端过滤器(240)和调压阀(230)连接，所述调压阀(230)前端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述调压阀(230)后端通过管路(280)与低压端过滤器(250)连接，所述高压端过滤器(240)前端通过管路(280)与高压隔离阀(220)连接，所述高压端过滤器(240)后端通过管路(280)与高压出口隔离阀(260)连接，所述低压端过滤器(250)前端通过管路(280)与调压阀(230)连接，所述低压端过滤器(250)后端通过管路(280)与低压出口隔离阀(270)连接，所述压力表(290)与管路(280)连接，所述入口阀(210)为三通阀。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述管路(280)包括：第一管路(281)、第二管路(282)、第三管路(283)、第四管路(284)、第五管路(285)、第六管路(286)和第七管路(287)，所述第一管路(281)与入口阀(210)和钢瓶(1000)连接，所述第二管路(282)与入口阀(210)和高压隔离阀(220)连接，所述第三管路(283)与入口阀(210)中间接口连接，所述第四管路(284)与入口阀(210)和高压隔离阀(220)连接，所述第五管路(285)与高压隔离阀(220)和高压端过滤器(240)连接，所述第六管路(286)与高压隔离阀(220)和调压阀(230)连接，所述第七管路(287)与调压阀(230)和低压端过滤器(250)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述入口阀(210)包括：第一入口阀(211)和第二入口阀(212)，所述第一入口阀(211)通过第二管路(282)与高压隔离阀(220)连接，所述第二入口阀(212)通过第四管路(284)与高压隔离阀(220)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述高压隔离阀(220)包括：第一高压隔离阀(221)、第二高压隔离阀(222)、第三高压隔离阀(223)和第四高压隔离阀(224)，所述第一高压隔离阀(221)和第二高压隔离阀(222)前端通过第二管路(282)与第一入口阀(211)连接，所述第三高压隔离阀(223)和第四高压隔离阀(224)通过第四管路(284)与第二入口阀(212)连接，所述第一高压隔离阀(221)和第三高压隔离阀(223)后端通过第五管路(285)与高压端过滤器(240)连接，所述第二高压隔离阀(222)和第四高压隔离阀(224)后端通过第六管路(286)与调压阀(230)连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体输送的钢瓶架，其特征在于：所述工艺气体供应单元(200)上设有单向阀(300)、流量孔板(400)、第一垫片式过滤器(500)和第二垫片式过滤器(600)，所述单向阀(300)与第三管路(283)后端连接，所述流量孔板(400)与单向阀(300)前端连接，所述第一垫片式过滤器(500)与第一入口阀(211)前端连接，所述第二垫片式过滤器(600)与第二入口阀(212)前端连接，所述第一垫片式过滤器(500)和第二垫片式过滤器(600)与钢瓶(1000)连接。