[实用新型]一种可高效抽真空的光学用抽真空装置

说明书

本实用新型属于抽真空装置技术领域，尤其为一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，包括真空镀膜室、光学镀膜加热机、抽真空机、气流调节箱和余热暂存气囊，真空镀膜室内腔的底端固定安装有光学镀膜加热机，光学镀膜加热机的边侧环绕固定有余热吸收环腔，抽真空机与真空镀膜室通过抽气导管导通连接，抽气导管的外侧套接有保温套管，保温套管与抽气导管之间构成热交换环腔，本实用新型通过在光学镀膜加热机边侧设置余热吸收环腔吸收其工作时产生的热能，并将热能进入余热暂存气囊中存储，余热经过电动涡轮增压风机和风量调节阀的驱动调节进入抽气导管和保温套管之间热交换环腔中，对抽气导管加热，避免其降温结冰，保持抽真空机的高效运行。

技术领域

本实用新型涉及抽真空装置技术领域，具体为一种可高效抽真空的光学用抽真空装置。

背景技术

光学真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到光学材料表面，形成导电膜，在光学真空镀膜过程中，进管与出管由于经常与大气接触，在反复抽真空放大气的过程中，在抽气管道端部容易出现结冰的现象，甚至堵塞抽气管道影响到抽真空的效率，通常对应措施是在真空镀膜的进管与出管布满电加热丝，在真空镀膜过程中，启动电加热丝产生热量传递给与加热丝接触的进管与出管，使进管与出管的温度升高，如此在抽真空放大气过程所排出的气体不会使进管与出管因温度低而结冰，提高了抽真空的效率，但是电加热丝在使用中会造成电能浪费，而真空镀膜会依次经历抽真空、加热及镀膜工序，如果能充分利用加热工序产生的热能作用于提高进管或出管的温度，则既解决了问题又节省了能源。

综上所述，目前的可高效抽真空的光学用抽真空装置存在下列问题：

1、真空装置的抽气管道出口因为经常抽气和放气导致容易出现结冰，严重时冰块堵塞抽气管道影响到抽真空的效率；

2、采用外置的电加热丝对抽气管道加热会浪费电能，同时，真空镀膜产生的余热得不到有效利用。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，解决了现有技术中抽气管道容易出现结冰，影响抽真空效率的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，包括真空镀膜室、光学镀膜加热机、抽真空机、气流调节箱和余热暂存气囊，所述真空镀膜室内腔的底端固定安装有所述光学镀膜加热机，所述光学镀膜加热机的边侧环绕固定有余热吸收环腔，所述抽真空机与所述真空镀膜室通过抽气导管导通连接，所述抽气导管的外侧套接有保温套管，所述保温套管与所述抽气导管之间构成热交换环腔，所述热交换环腔的顶端穿插有至少一根热交换管，所述热交换环腔的底端穿插有至少一根回流管道，所述真空镀膜室内腔的一侧固定安装有所述气流调节箱和所述余热暂存气囊，所述余热吸收环腔通过管道导通连接所述余热暂存气囊的进口，所述余热暂存气囊的出口通过所述气流调节箱导通连接所述热交换管，所述回流管道的两端分别导通所述热交换环腔和所述余热吸收环腔。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气流调节箱中设有电动涡轮增压风机和风量调节阀，所述风量调节阀设有调节手柄，所述调节手柄贯穿所述真空镀膜室的外壁并连接有扭动盘，所述调节手柄与所述真空镀膜室外壁的连接处设有橡胶套环。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述扭动盘的外围罩接有密封胶套，所述密封胶套与所述真空镀膜室的外壁通过密封压环紧密连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空镀膜室外壁的一侧固定安装有控制电柜，控制电柜上安装有MCU模块和触控显示屏，所述触控显示屏电性连接所述MCU模块的信号输入端。