[实用新型]一种可高效抽真空的光学用抽真空装置

权利要求书

1.一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，包括真空镀膜室(1)、光学镀膜加热机(2)、抽真空机(4)、气流调节箱(10)和余热暂存气囊(11)，其特征在于：所述真空镀膜室(1)内腔的底端固定安装有所述光学镀膜加热机(2)，所述光学镀膜加热机(2)的边侧环绕固定有余热吸收环腔(3)，所述抽真空机(4)与所述真空镀膜室(1)通过抽气导管(5)导通连接，所述抽气导管(5)的外侧套接有保温套管(6)，所述保温套管(6)与所述抽气导管(5)之间构成热交换环腔(7)，所述热交换环腔(7)的顶端穿插有至少一根热交换管(8)，所述热交换环腔(7)的底端穿插有至少一根回流管道(9)，所述真空镀膜室(1)内腔的一侧固定安装有所述气流调节箱(10)和所述余热暂存气囊(11)，所述余热吸收环腔(3)通过管道导通连接所述余热暂存气囊(11)的进口，所述余热暂存气囊(11)的出口通过所述气流调节箱(10)导通连接所述热交换管(8)，所述回流管道(9)的两端分别导通所述热交换环腔(7)和所述余热吸收环腔(3)。

2.根据权利要求1所述的一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，其特征在于：所述气流调节箱(10)中设有电动涡轮增压风机(101)和风量调节阀(102)，所述风量调节阀(102)设有调节手柄(103)，所述调节手柄(103)贯穿所述真空镀膜室(1)的外壁并连接有扭动盘(104)，所述调节手柄(103)与所述真空镀膜室(1)外壁的连接处设有橡胶套环(105)。

3.根据权利要求2所述的一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，其特征在于：所述扭动盘(104)的外围罩接有密封胶套(12)，所述密封胶套(12)与所述真空镀膜室(1)的外壁通过密封压环(13)紧密连接。

4.根据权利要求2所述的一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，其特征在于：所述真空镀膜室(1)外壁的一侧固定安装有控制电柜，控制电柜上安装有MCU模块(14)和触控显示屏(15)，所述触控显示屏(15)电性连接所述MCU模块(14)的信号输入端。

5.根据权利要求4所述的一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，其特征在于：所述真空镀膜室(1)中设置有电子真空表(16)，所述余热吸收环腔(3)和所述热交换环腔(7)中均设有电子温度计(17)，所述电子真空表(16)和所述电子温度计(17)均电性连接所述MCU模块(14)的信号输入端，所述MCU模块(14)的指令输出端电性连接所述电动涡轮增压风机(101)。

6.根据权利要求1所述的一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，其特征在于：所述真空镀膜室(1)的顶端设有光学镀膜挂架(18)，所述光学镀膜挂架(18)位于所述光学镀膜加热机(2)的正上方。