[实用新型]氨水管路

说明书

本实用新型提供的种氨水管路，包括：缓冲罐、泵、流量测量装置、混合路控制阀、混合罐、排气管路；缓冲罐下方设有出液口；泵的进口端通过第一管路连接缓冲罐的出液口；流量测量装置通过第二管路连接泵的出口端；混合路控制阀通过第三管路连接流量测量装置；混合罐通过第四管路连接混合路控制阀；排气管路支路连通于第二管路上；排气管路包含第一段排气管、排气控制阀和第二段排气管；第一段排气管与第二管路支路连通，排气控制阀分别连接第一段排气管和第二段排气管，第二段排气管与缓冲罐的上部连接。据此，氨水在所述氨水管路中循环时，能够及时排出管路中产生的气泡，减少了泵的空管现象，进而提高氨水循环管路中的流量稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备之液体输送领域，特别涉及一种氨水管路。

背景技术

半导体器件制造过程中会使用到标准清洗一号液（SC1），SC1是由氨水（NH₄OH）、双氧水（H₂O₂）、水（H₂O）按一定的比例混合而成，通常在混合之前NH₄OH和H₂O₂分别在各自的缓冲罐中内循环，等待NH₄OH和H₂O₂的内循环流量稳定了之后，再至混合罐中混合。

现有技术，在实际循环过程中，大流量H₂O₂的不会产生气泡，而且流量稳定。氨水（NH₄OH）的化学性质不稳定，容易分解为氨气（NH₃）和水，尤其是在泵抽取的过程中，当氨水的流量增大时会产生许多气泡，从而使得流量监测异常，且无法达到设定的流量值。而且，氨水从缓冲罐进入泵的时候，依靠氨水的重力直接进入泵中，现有技术实际运行中，大流量氨水经过泵时，由于氨水中混有大量气泡，导致泵的压力大于氨水下泄的重力，从而泵会发生空转现象，从而使的泵的出口端产生空管现象，进一步加剧了流量的不稳定性，导致氨水循环管路系统无法正常工作。参阅图1所示，现有技术的氨水循环管路中的氨水的流量波动较大。

所以，现有技术的氨水循环管路存在如下技术问题：管路中存在大量气泡，影响氨水循环管路中流量的稳定性，在氨水流量加大时，这一技术问题更加突出。

实用新型内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种氨水管路，其目的在于能够排除氨水循环管路中的气体，进而提高氨水循环管路中的流量稳定性。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种氨水管路，包括：

一缓冲罐，所述缓冲罐下方设有一出液口；

一泵，所述泵包括一进口端和一出口端，所述泵的进口端通过一第一管路连接所述缓冲罐的出液口；

一流量测量装置，所述流量测量装置通过一第二管路连接所述泵的出口端；

一混合路控制阀，所述混合路控制阀通过一第三管路连接所述流量测量装置；

一混合罐，所述混合罐通过一第四管路连接所述混合路控制阀；

一排气管路，所述排气管路支路连通于所述第二管路上；

所述排气管路包含一第一段排气管、一排气控制阀、和一第二段排气管；

所述第一段排气管与所述第二管路支路连通，所述排气控制阀分别连接所述第一段排气管和所述第二段排气管，所述第二段排气管与所述缓冲罐的上部连接。

优选地，所述第二管路的管径为第一管径，所述排气管路的管径为第二管径，所述第一管径大于或等于所述第二管径。

优选地，所述第一管径为3/4英寸，所述第二管径为3/8英寸。

优选地，所述第一管路上连通设有一泄液支路，所述泄液支路上设置一压力控制阀。