[实用新型]氨水管路有效
申请号: | 201921478998.0 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN210771455U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 汪正韦;黄景山;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | F17D1/08 | 分类号: | F17D1/08;F17D3/01 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 顾浩 |
地址: | 201314*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氨水 管路 | ||
1.一种氨水管路,其特征在于,包括:
一缓冲罐,所述缓冲罐下方设有一出液口;
一泵,所述泵包括一进口端和一出口端,所述泵的进口端通过一第一管路连接所述缓冲罐的出液口;
一流量测量装置,所述流量测量装置通过一第二管路连接所述泵的出口端;
一混合路控制阀,所述混合路控制阀通过一第三管路连接所述流量测量装置;
一混合罐,所述混合罐通过一第四管路连接所述混合路控制阀;
一排气管路,所述排气管路支路连通于所述第二管路上;
所述排气管路包含一第一段排气管、一排气控制阀、和一第二段排气管;
所述第一段排气管与所述第二管路支路连通,所述排气控制阀分别连接所述第一段排气管和所述第二段排气管,所述第二段排气管与所述缓冲罐的上部连接。
2.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述第二管路的管径为第一管径,所述排气管路的管径为第二管径,所述第一管径大于或等于所述第二管径。
3.如权利要求2所述的氨水管路,其特征在于,所述第一管径为3/4英寸,所述第二管径为3/8英寸。
4.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述第一管路上连通设有一泄液支路,所述泄液支路上设置一压力控制阀。
5.如权利要求4所述的氨水管路,其特征在于,所述氨水管路连接于一氨水供应总管路中,所述氨水供应总管路还包含一总泄流管,所述泄液支路连接至所述总泄流管。
6.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述第三管路上连通设有一回液支路,所述回液支路包含一第一段回液管、一回液控制阀和一第二段回液管,所述第一段回液管连通设置于第三管路上,所述回液控制阀连接第一段回液管和第二段回液管,所述第二段回液管与所述缓冲罐的上部连接。
7.如权利要求6所述的氨水管路,其特征在于,所述第二段回液管与所述第二段排气管共用一上部回流管,所述上部回流管与所述缓冲罐的上部连接。
8.如权利要求6所述的氨水管路,其特征在于,所述回液控制阀为一针阀,缩短所述回液控制阀开启时间。
9.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述缓冲罐的上部设有一出气口。
10.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,
所述氨水管路连接至一氨水供应总管路,所述氨水供应总管包含一总供应管;
所述氨水管路还包括一缓冲罐进液管路,所述缓冲罐进液管路包含一控制管段和一入罐管段;
所述控制管段包含一供应阀、一调压阀和一气动阀,所述供应阀连接至所述总供应管,所述供应阀与所述调压阀管路连接,所述气动阀与所述调压阀管路连接;
所述入罐管段包含一液体进罐口,所述液体进罐口位于所述缓冲罐的下部。
11.如权利要求10所述的氨水管路,其特征在于,所述供应阀为手阀或电磁阀。
12.如权利要求10所述的氨水管路,其特征在于,所述供应阀开启时所述泵开启。
13.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述混合罐还包括一出口,所述氨水管路还包括一成品罐、一第五管路和一混合液泄流支路,所述混合罐的出口通过第五管路与所述成品罐连接,所述混合液泄流支路连通于所述第五管路上。
14.如权利要求13所述的氨水管路,其特征在于,所述混合液泄流支路包含一压力控制阀。
15.如权利要求1所述的氨水管路,其特征在于,所述混合路控制阀为一针阀,所述排气控制阀为一针阀。
16.如权利要求1-14之一所述的氨水管路,其特征在于,所述泵的出口流量为大于或等于500ml/min。
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