[实用新型]一种半导体设备零件承载台车有效

专利信息
申请号: 201921463750.7 申请日: 2019-09-04
公开(公告)号: CN210379001U 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 徐宏进 申请(专利权)人: 扬州国润半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;F16F15/023;F16F15/04
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 李洪波
地址: 225100 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体设备 零件 承载 台车
【权利要求书】:

1.一种半导体设备零件承载台车,包括呈长方体箱状结构的转运箱体(1)以及转运箱体(1)内安装的多组承载箱主体(3),所述转运箱体(1)的上端面一侧设置有一组推柄(11),其特征在于:所述转运箱体(1)的上端面设置多组分隔板(2),且多组所述分隔板(2)将转运箱体(1)内空间分隔为多组供承载箱主体(3)安装的承载箱安装槽(301),所述承载箱主体(3)的两端设置有延伸翼板(4),且转运箱体(1)对应承载箱主体(3)构造有延伸翼板(4)的位置开设有翼板配合槽(401),所述翼板配合槽(401)内安装有缓冲组件,所述转运箱体(1)的底端设置有四组支撑腿(101),且支撑腿(101)的底端均配合安装有减震轮(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述承载箱主体(3)的两侧开设有提接槽,且分隔板(2)对应承载箱主体(3)开设提接槽的位置构造有凹陷(201)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述承载箱主体(3)为顶部开口的长方体箱状结构,而承载箱主体(3)内壁包覆有相互连通的充气囊(9),且承载箱主体(3)的一角设置有一组通过充气管道连通充气囊(9)的充气口(901)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述翼板配合槽(401)内安装的缓冲组件包括一组呈矩形板状结构的缓冲板(6)以及缓冲板(6)底端设置的抵接弹簧(601),所述抵接弹簧(601)在缓冲板(6)的底端对称设置有两组,且两组所述抵接弹簧(601)的底端与翼板配合槽(401)底面铰接配合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备零件承载台车,其特征在于:所述减震轮(5)包括定位筒(7)、减震弹簧(8)和万向轮(10),所述定位筒(7)内设置有供减震弹簧(8)铰接的连接柱(701),且减震弹簧(8)的底端铰接于一组连接杆(801)的外围,所述连接杆(801)的底端设置有万向轮(10)。

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