[实用新型]一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备

权利要求书

1.一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于：主要由微波发生器、工艺进气管、微波屏蔽层、旋转托盘、冷却盘管、水冷系统、真空系统和镀膜壳体组成，其中镀膜壳体为密封性能的腔体，在镀膜腔体内壁上设置微波屏蔽层，所述旋转托盘安装在内底部，所述微波发生器与镀膜壳体内部连通，所述工艺进气管与镀膜壳体内连通，所述冷却盘管安装在镀膜壳体内且与水冷系统连接，所述真空系统与镀膜壳体内连通。

2.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述微波发生器包括微波源电信号、谐振腔、微波衰减器、导波管和微波发射喇叭，所述微波源电信号、谐振腔位于镀膜腔体外，波导管安装在镀膜腔体上与镀膜腔体内连通，所述微波发射喇叭连接在波导管位于镀膜腔体内的末端，且在波导管内安装微波衰减器。

3.根据权利要求2所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，工艺进气管与微波发射喇叭连通。

4.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述镀膜腔体为球形或圆柱形。

5.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述镀膜壳体内壁四周和外壁四周都设置有微波屏蔽层。

6.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述工艺进气管上设置有工艺控制阀。

7.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述真空系统与镀膜壳体的连接管道上安装有抽气阀门。

8.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述镀膜壳体内的真空度是维持在0.1～0.5Pa之间。

9.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，所述镀膜壳体采用采用奥氏体不锈钢。

10.根据权利要求1所述的一种微波镀纳米金刚石薄膜的设备，其特征在于，真空系统与镀膜壳体最底部连接。