[实用新型]一种动态配气设备

说明书

本实用新型涉及气体供给技术领域，具体是一种动态配气设备，包括：控制器、气源系统、配气系统和尾气处理系统；尾气处理系统包括第一容器和真空发生器，真空发生器与控制器连接；气源系统包括第一管路、第二管路、第三管路和管路通断组件，管路通断组件与控制器连接，用于控制管路的通断；配气系统包括第一配气模块，第一配气模块包括第一支路、第二支路、第三支路和支路通断组件，支路通断组件与控制器连接，用于控制所述支路的通断；第一支路分别与第一管路和第一容器连通；第三支路分别与第三管路和真空发生器连通；第二支路与第二管路连通后能够导出气体；本实用新型在配气结束后能够处理配气系统内的气体，减少前次配气对后次配气的影响。

技术领域

本实用新型涉及气体供给技术领域，特别涉及一种动态配气设备。

背景技术

当前，在气体供给领域，经常需要将多种源气的组合配气，现有的动态配气系统，一般配置2个或4个气体入口，分别对应连接2种或4种容器，使用时，将气体入口和对应的容器连接好，设置好配气程序即可配气。但是当一次配气结束，再次配气时需要将某个气体入口换接其他容器或某个容器换接其他气体入口时，只能手动拆除原有连接，然后按照新的配气要求重新手动连接起来。这样使配气工作量增大，这样操作很容易出错且效率低。并且，在一次配气结束后拆除连接时，原有管路里残存的气体会逸散到环境中，造成污染，而且管路里残存的气体还会对第二次配气产生影响和干扰。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的提供了一种动态配气设备，本实用新型通过控制器控制气源系统、配气系统和尾气处理系统，无需手动控制，提高了工作效率和配气精度，同时在配气结束后，尾气处理系统能够处理所述配气系统内的气体，避免污染环境，同时有效减少前次配气对后次配气的影响和干扰。

本实用新型公开了一种动态配气设备包括：控制器、气源系统、配气系统和尾气处理系统；

所述尾气处理系统包括第一容器和真空发生器，所述真空发生器与所述控制器连接；

所述气源系统包括第一管路、第二管路、第三管路和管路通断组件，所述管路通断组件与所述控制器连接，用于控制所述第一管路、所述第二管路和第三管路的通断；

所述配气系统包括第一配气模块，所述第一配气模块包括第一支路、第二支路、第三支路和支路通断组件，所述支路通断组件与所述控制器连接，用于控制所述第一支路、第二支路、第三支路的通断；

所述第一支路分别与所述第一管路和所述第一容器连通；所述第三支路分别与所述第三管路和所述真空发生器连通；所述第二支路的一端与所述第二管路连通，所述第二支路的另一端用于导出气体。

进一步地，所述支路通断组件包括第一气动隔膜阀和第二气动隔膜阀；所述第一气动隔膜阀和所述第二气动隔膜阀设置在所述第一支路上，所述第一气动隔膜阀与所述第二气动隔膜阀内气体流动方向相反。

进一步地，所述支路通断组件还包括第三气动隔膜阀、第四气动隔膜阀、第五气动隔膜阀和第六气动隔膜阀；

所述第二支路沿气体流动方向依次设置有所述第三气动隔膜阀、四通卡套接头和所述第四气动隔膜阀；所述第三支路沿气体流动方向依次设置有所述第五气动隔膜阀、第一三通卡套接头和所述第六气动隔膜阀。

进一步地，所述第一支路、所述第二支路和所述第三支路相互连通。

进一步地，所述配气系统还包括第二配气模块和第三配气模块，所述第一配气模块、所述第二配气模块和所述第三配气模块结构相同，且与所述气源系统和尾气处理系统连接位置相同，所述第一配气模块、所述第二配气模块和所述第三配气模块相互连通。