[实用新型]一种动态配气设备

权利要求书

1.一种动态配气设备，其特征在于，包括：控制器、气源系统(1)、配气系统(2)和尾气处理系统(3)；

所述尾气处理系统(3)包括第一容器(31)和真空发生器(32)，所述真空发生器(32)与所述控制器连接；

所述气源系统(1)包括第一管路(11)、第二管路(12)、第三管路(13)和管路通断组件，所述管路通断组件与所述控制器连接，用于控制所述第一管路(11)、所述第二管路(12)和第三管路(13)的通断；

所述配气系统(2)包括第一配气模块(21)，所述第一配气模块(21)包括第一支路(211)、第二支路(212)、第三支路(213)和支路通断组件，所述支路通断组件与所述控制器连接，用于控制所述第一支路(211)、第二支路(212)、第三支路(213)的通断；

所述第一支路(211)分别与所述第一管路(11)和所述第一容器(31)连通；所述第三支路(213)分别与所述第三管路(13)和所述真空发生器(32)连通；所述第二支路(212)的一端与所述第二管路(12)连通，所述第二支路(212)的另一端用于导出气体。

2.根据权利要求1所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述支路通断组件包括第一气动隔膜阀(2111)和第二气动隔膜阀(2112)；所述第一气动隔膜阀(2111)和所述第二气动隔膜阀(2112)设置在所述第一支路(211)上，所述第一气动隔膜阀(2111)与所述第二气动隔膜阀(2112)内气体流动方向相反。

3.根据权利要求2所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述支路通断组件还包括第三气动隔膜阀(2114)、第四气动隔膜阀(2115)、第五气动隔膜阀(2116)和第六气动隔膜阀(2117)；

所述第二支路(212)沿气体流动方向依次设置有所述第三气动隔膜阀(2114)、四通卡套接头和所述第四气动隔膜阀(2115)；所述第三支路(213)沿气体流动方向依次设置有所述第五气动隔膜阀(2116)、第一三通卡套接头和所述第六气动隔膜阀(2117)。

4.根据权利要求3所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述第一支路(211)、所述第二支路(212)和所述第三支路(213)相互连通。

5.根据权利要求4所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述配气系统(2)还包括第二配气模块(22)和第三配气模块(23)，所述第一配气模块(21)、所述第二配气模块(22)和所述第三配气模块(23)结构相同，且与所述气源系统(1)和尾气处理系统(3)连接位置相同，所述第一配气模块(21)、所述第二配气模块(22)和所述第三配气模块(23)相互连通。

6.根据权利要求5所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述配气系统(2)还包括第四配气模块(24)，所述第四配气模块(24)包括第四管路(241)、第五管路(242)、第六管路、第五容器(2411)和第六容器(2421)，所述第四管路与所述第五容器(2411)连通，所述第五管路与所述第六容器(2421)连通，所述第六管路的一端通过第二三通卡套接头与所述第四管路(241)和所述第五管路(242)连通，所述第六管路的另一端用于导出气体。

7.根据权利要求6所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述气源系统(1)还包括第二容器(2113)、第三容器和第四容器，所述第一管路(11)与所述第二容器(2113)连通，所述第二管路(12)与所述第三容器连通，所述第三管路(13)与所述第四容器连通，所述第一管路(11)、所述第二管路(12)和所述第三管路(13)结构相同。

8.根据权利要求1所述的一种动态配气设备，其特征在于，所述尾气处理系统(3)包括第七管路和第八管路，所述第七管路分别与所述第八管路和所述第一容器(31)连通，所述第七管路沿气体流动方向依次设置有减压阀、第一单向阀、压力表和气动阀分配盘(33)；所述第八管路沿气体流动方向依次设置有第二单向阀(34)、第七气动隔膜阀、真空发生器(32)、尾气处理器(35)、第一隔膜阀(37)和第三出口接头(36)。