[实用新型]一种特定混合气体制备装置

权利要求书

1.一种特定混合气体制备装置，其特征在于包括：分气罐（1）、进气管（2）、第一连通管（3）、第二连通管（4）、排空管（5）、原料气连接软管（6）、第一精密压力表（7）、第二精密压力表（8）、第一球阀（9）、第二球阀（10）、真空泵连接管（11）、真空泵（12）、出气管（13）、第一不锈钢隔膜阀（14）、产品气体连接软管（15）、第一截止阀（16）、第二截止阀（17）和多个第二不锈钢隔膜阀（18）；

分气罐（1）的上端与进气管（2）、第一连通管（3）、第二连通管（4）和排空管（5）的下端连接，原料气连接软管（6）的下端和进气管（2）的上端分别与第一不锈钢隔膜阀（14）的进口端和出口端连接，第一精密压力表（7）、第二精密压力表（8）分别通过第一球阀（9）、第二球阀（10）连接在第一连通管（3）、第二连通管（4）的上端，排空管（5）的上端设置联通或关闭排空管气路的第一截止阀（16）；

分气罐（1）的下端与真空泵连接管（11）的上端连接，真空泵连接管（11）下端和真空泵之间设置联通或关闭气路的第二截止阀（17）；

分气罐（1）的侧面上连接有多根出气管（13），每个第二不锈钢隔膜阀（18）的进口端和出口端分别与一根出气管（13）的出气端和一根产品气体连接软管（15）的进气端连接，每根产品气体连接软管（15）的另一端分别连接一个产品气瓶。

2.根据权利要求1所述的一种特定混合气体制备装置，其特征在于：所述的分气罐（1）、进气管（2）、第一连通管（3）、第二连通管（4）、排空管（5）、原料气连接软管（6）、真空泵连接管（11）、出气管（13）和产品气体连接软管（15）的材质均为不锈钢。

3.根据权利要求2所述的一种特定混合气体制备装置，其特征在于：所述不锈钢为316L不锈钢。

4.根据权利要求3所述的一种特定混合气体制备装置，其特征在于：所述进气管（2）、第一连通管（3）、第二连通管（4）、排空管（5）、真空泵连接管（11）和出气管（13）通过焊接连接在分气罐（1）上，所述不锈钢隔膜阀（14、18）、球阀（9、10）、截止阀（16、17）与其他部件的连接方式为螺纹连接。

5.根据权利要求1～4任一项所述的一种特定混合气体制备装置，其特征在于：所述分气罐（1）的侧面上连接的出气管（13）数量为2～30根，所述第二不锈钢隔膜阀（18）和产品气体连接软管（15）的数量与出气管（13）的数量一致。

6.根据权利要求5所述的一种特定混合气体制备装置，其特征在于：所述分气罐（1）的形状为圆柱形。