[实用新型]一种具有内嵌隔离环的高维持电压可控硅有效
申请号: | 201921418257.3 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN210092089U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 乔明;齐钊;邓琪 | 申请(专利权)人: | 成都矽能科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/74 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人: | 葛启函 |
地址: | 610093 四川省成都市自由贸易试验区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 隔离 维持 电压 可控硅 | ||
1.一种具有内嵌隔离环的高维持电压可控硅,包括:
P型衬底;
设置在所述P型衬底上表面两侧的N阱区和P阱区;
设置在所述N阱区内表面的阳极;
设置在所述P阱区内表面的阴极;
设置在所述P型衬底上表面且两端分别设置在所述N阱区和P阱区内部的第三N+区;
其特征在于,所述可控硅还包括N型隔离环和/或P型隔离环;
所述N型隔离环包括:
设置在所述N阱区下方的N埋层;
设置在所述N阱区远离所述P阱区的一侧且与所述N阱区和N埋层相接触的第一N型深注入层,所述第一N型深注入层位于所述P型衬底上表面;
设置在所述N阱区靠近所述P阱区的一侧且与所述N阱区和N埋层相接触的第二N型深注入层,所述第二N型深注入层的上表面与所述第三N+区的下表面相接触;
所述P型隔离环包括:
设置在所述P阱区下方的P埋层;
设置在所述P阱区远离所述N阱区的一侧且与所述P阱区和P埋层相接触的第一P型深注入层,所述第一P型深注入层位于所述P型衬底上表面;
设置在所述P阱区靠近所述N阱区的一侧且与所述P阱区和P埋层相接触的第二P型深注入层,所述第二P型深注入层的上表面与所述第三N+区的下表面相接触。
2.根据权利要求1所述的具有内嵌隔离环的高维持电压可控硅,其特征在于,所述N阱区内且位于所述阳极和所述第三N+区之间的区域还包括多个第三N型深注入层,所述第三N型深注入层用于隔开其两侧的N阱区和N埋层。
3.根据权利要求1或2所述的具有内嵌隔离环的高维持电压可控硅,其特征在于,所述P阱区内且位于所述阴极和所述第三N+区之间的区域还包括多个第三P型深注入层,所述第三P型深注入层用于隔开其两侧的P阱区和P埋层。
4.根据权利要求1所述的具有内嵌隔离环的高维持电压可控硅,其特征在于,所述阳极包括设置在所述N阱区上表面且通过金属相连的第一N+区和第一P+区,所述阴极包括设置在所述P阱区上表面且通过金属相连的第二N+区和第二P+区。
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