[实用新型]一种基板搬运机器人设备

权利要求书

1.一种基板搬运机器人设备，包括固定座(1)和驱动电机(3)，其特征在于：所述固定座(1)的上表面中间位置设有凹槽，所述凹槽的内部表面螺钉连接有机座(2)，所述驱动电机(3)通过机座(2)固定连接在凹槽的内部，所述固定座(1)的上表面且位于凹槽的周侧固定连接有内齿环(4)，所述驱动电机(3)的输出端固定连接有主轴(5)，所述主轴(5)伸出凹槽外部的侧壁对称键连接有支撑板(6)的一端，所述支撑板(6)均设置在内齿环(4)的内部，所述支撑板(6)的上表面远离主轴(5)的一侧均设有贯通孔，所述贯通孔内均转动连接有副轴(7)，所述主轴(5)伸出支撑板(6)的侧壁键连接有主动轮(8)，所述副轴(7)的侧壁均键连接有从动轮(9)，所述从动轮(9)的上表面均螺钉连接有支撑柱(10)，所述支撑柱(10)的顶端面通过铰接件连接有伸缩筒(11)，所述伸缩筒(11)的内部滑动连接有伸缩杆(12)的一端，所述支撑柱(10)的顶端面且位于铰接件的左侧固定连接有限位板(13)，所述限位板(13)靠近伸缩筒(11)的侧壁通过铰接件连接有转动油缸(14)的输出端，所述转动油缸(14)的固定端通过螺钉组件连接在伸缩筒(11)的上侧壁，所述伸缩筒(11)的下侧壁通过螺钉组件连接有伸缩油缸(15)的固定端，所述伸缩杆(12)的另一端与伸缩油缸(15)的输出端之间固定安装有连接板(16)，所述连接板(16)的一支撑角铰接有定位油缸(17)的输出端，所述连接板(16)的另一支撑角铰接有定位杆(18)的一端，所述定位杆(18)的另一端固定连接有吸盘(19)，所述定位油缸(17)的固定端和定位杆(18)的侧壁铰接连接，所述吸盘(19)的进气端螺纹连接有进气管(20)。

2.根据权利要求1所述的一种基板搬运机器人设备，其特征在于：所述固定座(1)的阶梯端面设有若干个螺纹孔(21)，所述螺纹孔(21)与外设的工作台螺钉连接。

3.根据权利要求1所述的一种基板搬运机器人设备，其特征在于：所述主动轮(8)分别与两侧的从动轮(9)啮合连接，所述从动轮(9)均与内齿环(4)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种基板搬运机器人设备，其特征在于：所述进气管(20)的管道设有流量调节阀(22)。

5.根据权利要求1所述的一种基板搬运机器人设备，其特征在于：所述连接板(16)呈三角形结构设置。

6.根据权利要求1所述的一种基板搬运机器人设备，其特征在于：所述定位杆(18)呈S型结构设置。