[实用新型]具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台

说明书

本实用新型公开了一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，上料台上设置两组夹持组，每组夹持组包括相互平行的齿条与导轨以及动夹持头和一个定夹持头；动夹持头和定夹持头均为转动式结构，转动平面垂直于单晶硅棒；齿条与导轨上搭设有滑块；滑块连接于滑块伺服电机；滑块还通过垂直于导轨的水平杆连接于动夹持头；定夹持头通过支架支撑于上料台上且连接于定夹持头伺服电机；两组夹持组平行排列设置于上料台上，且在两组夹持组之间设置有一个激光位移传感器；使用本实用新型，能同时对双棒进行长度和晶线方向测量。

技术领域

本发明涉及单晶硅棒开方机领域，更具体地说，涉及一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台。

背景技术

单晶硅棒加工前，需要测量单晶硅棒的长度以及晶线位置，现有技术装置要么太过复杂要么将二者分开处理太过繁琐，且少有能够对双棒同时测量的装置。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，以能够同时对双棒进行长度和晶线方向测量。

为了达到上述目的，本发明采取以下技术方案：

一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，上料台上设置两组用于夹持单晶硅棒的夹持组，每组夹持组包括铺设于上料台上且相互平行的齿条与导轨，以及用于夹持同一根单晶硅棒两端且互指的一个动夹持头和一个定夹持头；动夹持头和定夹持头均为转动式结构，转动平面垂直于单晶硅棒；

齿条与导轨上搭设有滑块；滑块连接于用于驱动滑块在导轨上移动的滑块伺服电机；滑块还通过垂直于导轨的水平杆连接于动夹持头；

定夹持头通过支架支撑于上料台上且连接于用于驱动定夹持头转动的定夹持头伺服电机；

两组夹持组平行排列设置于上料台上，且在两组夹持组之间设置有一个激光位移传感器。

优选的，滑块伺服电机连接于第一减速器。

优选的，定夹持头伺服电机连接于第二减速器。

优选的，上料台底部通过多个气缸支撑于基座。

优选的，气缸的顶部连接于第三减速器。

优选的，激光位移传感器靠近定夹持头的端面与两个定夹持头的端面相齐。

优选的，激光位移传感器靠近定夹持头的端面位于两个定夹持头端面的正中间。

优选的，滑块与齿条通过齿轮连接。

本发明的优点在于，通过动夹持头与定夹持头的设置，可以通过简单的移动距离的测量来获得单晶硅棒的长度，且结合了激光位移传感器能够测量晶线位置，并能够通过旋转单晶硅棒来为进一步的加工作好准备，结构简单有效；除此之外，本发明能够同时对双棒进行测量，从而为双棒加工的开方机作好加工前的准备，以提高加工效率。

附图说明

图1是本发明上料台的俯视图；

图2是本发明上料台的主视图。

图中，40、齿条，41、导轨，42、电缆拖链，43、连接腿，44、动夹持头，45、上料台，46、单晶硅棒，47、晶线，48、定夹持头伺服电机，49、第二减速器，50、激光位移传感器，51、定夹持头，52、滑块伺服电机，53、第一减速器，54、气缸，55、第三减速器，56、基座。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作描述。