[实用新型]具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台

权利要求书

1.一种具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，上料台(45)上设置两组用于夹持单晶硅棒(46)的夹持组，每组所述夹持组包括铺设于所述上料台(45)上且相互平行的齿条(40)与导轨(41)，以及用于夹持同一根单晶硅棒(46)两端且互指的一个动夹持头(44)和一个定夹持头(51)；所述动夹持头(44)和所述定夹持头(51)均为转动式结构，转动平面垂直于所述单晶硅棒(46)；

所述齿条(40)与导轨(41)上搭设有滑块；所述滑块连接于用于驱动所述滑块在所述导轨(41)上移动的滑块伺服电机(52)；所述滑块还通过垂直于所述导轨(41)的水平杆连接于所述动夹持头(44)；

所述定夹持头(51)通过支架支撑于所述上料台(45)上且连接于用于驱动所述定夹持头(51)转动的定夹持头伺服电机(48)；

两组所述夹持组平行排列设置于所述上料台(45)上，且在两组所述夹持组之间设置有一个激光位移传感器(50)。

2.根据权利要求1所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述滑块伺服电机(52)连接于第一减速器(53)。

3.根据权利要求1所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述定夹持头伺服电机(48)连接于第二减速器(49)。

4.根据权利要求1所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述上料台(45)底部通过多个气缸(54)支撑于基座(56)。

5.根据权利要求4所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述气缸(54)的顶部连接于第三减速器(55)。

6.根据权利要求1所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述激光位移传感器(50)靠近所述定夹持头(51)的端面与两个所述定夹持头(51)的端面相齐。

7.根据权利要求6所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述激光位移传感器(50)靠近所述定夹持头(51)的端面位于两个所述定夹持头(51)端面的正中间。

8.根据权利要求1所述具有长度和晶线方向测量功能的单晶硅棒上料台，其特征在于，所述滑块与所述齿条(40)通过齿轮连接。