[实用新型]具有密封结构的加热盘

说明书

本实用新型提供一种具有密封结构的加热盘，其包括盘体、支撑柱以及导电柱；盘体内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；支撑柱贯穿设置于所述盘体中心处；导电柱贯穿设置于所述盘体上。本实用新型的具有密封结构的加热盘中，支撑柱和导电柱均贯穿设置在盘体上，支撑柱一端和导电柱一端均通过固定片作为密封面与盘体第一端面连接，支撑柱另一端和导电柱另一端均通过压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，该结构安装简易，提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，适用于连接多种尺寸的盘体，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种具有密封结构的加热盘。

背景技术

目前,在半导体真空设备及制造技术领域，使用加热盘时，加热盘及其配套零件需穿越真空环境和大气环境，真空设备对结构密封性均有不同程度的密封性要求，加热盘组件的密封方式是较为重要的一个环节，尤其是加热盘支撑和电气相关的密封。

加热盘中包含多个连接柱和导电柱，传统的加热盘密封方式均为端面密封，由于这类加热盘存在多个导电柱，每个导电柱均需穿过真空腔室的腔壁，多个导电柱端面的平行度精度和共面精度难以把控，整体结构的加工精度、安装人员的难度、整体密封性等均有很高的要求。故需要提供一种具有密封结构的加热盘来解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种具有密封结构的加热盘，其通过导电柱的轴向作为密封面，导电柱与腔体狭缝间放置绝缘垫片，外部用压紧法兰进行固定，以解决现有技术中的具有密封结构的加热盘多存在结构设计不够合理，以及部件制造成本高、更换维护成本高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种具有密封结构的加热盘，其包括：盘体、支撑柱以及导电柱。

盘体内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且所述盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；

支撑柱，其贯穿设置于所述盘体中心处，所述支撑柱包括延伸出所述第一端面的第一端部，以及延伸出所述第二端面的第二端部；

导电柱，其贯穿设置于所述盘体上，所述导电柱包括延伸出所述第一端面的第三端部，以及延伸出所述第二端面的第四端部；

其中，所述第一端部上设有第一固定片，所述第一固定片与所述第一端面密封连接，所述第二端部通过第一压紧法兰与所述第二端面密封连接；所述第三端部上设有第二固定片，所述第二固定片与所述第一端面密封连接，所述第四端部通过第二压紧法兰与所述第二端面密封连接。

支撑柱通过第一固定片作为密封面，与盘体的第一端面进行密封，另一端通过第一压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封；导电柱通过第二固定片作为密封面，与盘体的第一端面进行密封，另一端通过第二压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，腔室外部使用压紧法兰对其进行紧固，使加热盘整体结构稳定，且提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，实用性强。

本实用新型中，所述第一固定片靠近所述第一端面一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽为环形结构，用于安装第一密封圈。第一固定片通过密封圈对第一端面进行密封，提升密封稳定性。

本实用新型中，所述第一压紧法兰与所述第二端面之间设置有第一密封件，所述第一密封件包括套设在所述支撑柱上的第一垂直部，以及设置在第一垂直部外壁的第一水平部，所述第一水平部位于所述第二端面与第一压紧法兰间。第一密封件通过第一垂直部将支撑柱与腔室之间的间隙进行密封，第一水平部将第二端面与第一压紧法兰间进行密封，装置结构简单，部件生产成本低，安装简易、便于维护、易于调整。

本实用新型中，所述第二固定片与所述第一端面之间设有绝缘垫片，所述绝缘垫片为环形结构，且所述绝缘垫片包括套设在所述导电柱上的第二垂直部，以及设置在所述第二垂直部外壁的第二水平部，所述第二水平部位于所述第二固定片与所述第一端面间。第二固定片与第一端面间通过第一绝缘片防止导电柱与腔室接触，且对盘体的真空腔室进行密封。