[实用新型]具有密封结构的加热盘

权利要求书

1.一种具有密封结构的加热盘，其特征在于，包括：盘体、支撑柱以及导电柱；

盘体，其内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且所述盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；

支撑柱，其贯穿设置于所述盘体中心处，所述支撑柱包括延伸出所述第一端面的第一端部，以及延伸出所述第二端面的第二端部；

导电柱，其贯穿设置于所述盘体上，所述导电柱包括延伸出所述第一端面的第三端部，以及延伸出所述第二端面的第四端部；

其中，所述第一端部上设有第一固定片，所述第一固定片与所述第一端面密封连接，所述第二端部通过第一压紧法兰与所述第二端面密封连接；

所述第三端部上设有第二固定片，所述第二固定片与所述第一端面密封连接，所述第四端部通过第二压紧法兰与所述第二端面密封连接。

2.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一固定片靠近所述第一端面一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽为环形结构，用于安装第一密封圈。

3.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一压紧法兰与所述第二端面之间设置有第一密封件，所述第一密封件包括套设在所述支撑柱上的第一垂直部，以及设置在第一垂直部外壁的第一水平部，所述第一水平部位于所述第二端面与第一压紧法兰间。

4.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二固定片与所述第一端面之间设有绝缘垫片，所述绝缘垫片为环形结构，且所述绝缘垫片包括套设在所述导电柱上的第二垂直部，以及设置在所述第二垂直部外壁的第二水平部，所述第二水平部位于所述第二固定片与所述第一端面间。

5.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述导电柱还包括用于连接所述第三端部和第四端部的第一连接部，所述第一连接部上设有第二凹槽，所述第二凹槽为环形结构，用于放置绝缘胶圈。

6.根据权利要求5所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二凹槽设有若干组。

7.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二压紧法兰与所述第二端面之间设置有第二密封件，所述第二密封件包括第三垂直部，以及设置在所述第三垂直部外壁的第三水平部，所述第三垂直部套设在所述导电柱上，所述第三水平部设置于所述第二端面与第二压紧法兰间。

8.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述支撑柱延伸方向与所述导电柱延伸方向相互平行。

9.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述导电柱设有若干组，且若干所述导电柱均匀贯穿设置在所述盘体上。

10.根据权利要求4所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一端面与第二固定片的间隙大于所述第一端面与第一固定片的间隙，所述绝缘垫片高度小于第一密封圈的压缩量。