[实用新型]一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201921365979.7 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210314474U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 隔膜 卷绕 真空镀膜 设备 | ||
1.一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,其特征在于：放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。
2.根据权利要求1所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：放卷室、收卷室和镀膜室呈T型分布，放卷室和收卷室并排设置在镀膜室的上方。
3.根据权利要求1所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：真空镀膜设备还包括卷绕系统，卷绕系统包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、卷绕机构、收卷辊。
4.根据权利要求1所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：放卷室的上方铰接有第一翻转门，收卷室的上方铰接有第二翻转门。
5.根据权利要求4所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：第一翻转门和第二翻转门均连接有电动装置、气动装置或液压装置。
6.根据权利要求1所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：真空镀膜设备还包括磁控靶，磁控靶安装在靶车上。
7.根据权利要求6所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：靶车滑动安装在路轨上，路轨设置在镀膜室底部。
8.根据权利要求6所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：靶车上安装有定位支撑装置。
9.根据权利要求6所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：磁控靶为平面阴极靶或旋转阴极靶。
10.根据权利要求1所述的一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，其特征在于：镀膜室呈圆形、方形或异形。
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