[实用新型]一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置

说明书

本实用新型公开一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置，其包括主体框架、驱动机构、至少一个研磨机构及传动机构；驱动机构包括第一驱动机构，第一驱动机构与传动机构连接；传动机构包括带轮及皮带，第一驱动机构驱动带轮转动，在带轮的带动下，皮带移动；每一个研磨机构包括上下相对设置的基板和支撑板以及设置在支撑板下的研磨件，基板与皮带连接，研磨机构与主体框架通过导轨轴承连接；主体框架下设置有导轨，导轨轴承的一端与基板连接，另一端与导轨滑动配合，在传动机构的传动作用下，研磨机构随着皮带的移动而沿导轨移动。本实用新型设计的研磨装置，通过设置导轨、传动机构和研磨机构，可实现自动化研磨，生产效率高，省时省力。

技术领域

本实用新型涉及镀膜玻璃生产制造领域，尤其涉及一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置。

背景技术

在现有技术中，镀膜玻璃采用真空磁控溅射技术，靶材安装在阴极盖板上，阴极盖板安装在腔室上，在阴极盖板和腔室之间有一层密封面，表面极其光滑，用来保证密封接触良好。每个保养周期要对密封面进行研磨，以保证光洁的密封面及优秀的密封效果。目前采用纯人工的方式进行研磨，研磨进度不受控，研磨质量不能保证。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置，实现自动化研磨，提高生产效率，所述技术方案如下：

本实用新型提供一种真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置，其包括主体框架、驱动机构、设置在所述主体框架下的至少一个研磨机构以及传动机构；所述驱动机构包括第一驱动机构，所述第一驱动机构与传动机构连接；所述传动机构包括设置在所述主体框架下表面边沿的带轮以及绕设在所述带轮上的皮带，所述第一驱动机构驱动带轮转动，在所述带轮的带动下，所述皮带移动；每一个研磨机构包括上下相对设置的基板和支撑板以及设置在所述支撑板下的研磨件，所述研磨件用于打磨腔室密封面，所述基板与皮带连接，所述研磨机构与主体框架通过导轨轴承连接；所述主体框架下设置有导轨，所述导轨轴承的一端与所述基板连接，另一端与所述导轨滑动配合，在所述传动机构的传动作用下，所述研磨机构随着皮带的移动而沿导轨移动。

进一步地，所述导轨上设置有导向槽，所述导轨轴承的一端设置在导向槽内，所述导轨轴承能够沿着导向槽移动。

进一步地，所述导轨轴承与基板通过第一紧固件连接。

进一步地，所述皮带上开设有安装孔，通过在安装孔内安装第二紧固件将所述基板与皮带固定连接。

进一步地，所述驱动机构还包括第二驱动机构，第二驱动机构用于驱动研磨件上下移动。

进一步地，所述第二驱动机构为气缸，所述气缸与研磨件连接，且所述气缸设置在所述基板和支撑板之间。

进一步地，所述研磨件为盘状结构。

进一步地，所述基板和支撑板之间通过连接件连接，且所述连接件外套设有弹性件。

进一步地，所述研磨件朝向待打磨的腔室密封面方向的一端设置有可拆卸的砂布。

进一步地，每一个研磨机构中所述导轨轴承的数量设置为四个。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果如下：

本实用新型设计的真空磁控溅射设备腔室密封面研磨装置，通过设置导轨、传动机构和研磨机构，可实现完全自动化研磨，生产效率高，省时省力，研磨效果优于人工研磨。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。