[实用新型]一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪

权利要求书

1.一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，包括旋涂箱(1)，其特征在于：所述旋涂箱(1)内设置有静电吸附支撑台(2)，所述静电吸附支撑台(2)的底部设置有旋转驱动机构，所述静电吸附支撑台(2)的上部设置有滴胶管(13)，所述滴胶管(13)延伸至所述旋涂箱(1)的外侧，所述旋涂箱(1)外侧的所述滴胶管(13)上设置有供胶机构，所述旋涂箱(1)的顶部一侧设置有开口(18)，所述开口(18)上连接有抽真空机构，所述静电吸附支撑台(2)与外接电源电连接，所述旋涂箱(1)的一侧设置有可打开的密封门，所述旋涂箱(1)的外侧还设置有控制器(22)。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述旋转驱动机构包括位于所述静电吸附支撑台(2)下部的支撑盘(3)，位于所述支撑盘(3)下部的转轴(4)以及位于所述转轴(4)底部的第一电机(5)，所述第一电机(5)与控制器(22)电连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述转轴(4)上还固定有卡盘机构，所述卡盘机构包括固定于所述转轴(4)上的支撑板(6)，位于所述支撑板(6)上部四周的四个凹型卡盘(9)以及位于每个所述凹型卡盘(9)底部的升降驱动机构，所述升降驱动机构固定在所述支撑板(6)上，四个凹型卡盘(9)在支撑板(6)顶面呈相互矩形交错状围绕在静电吸附支撑台(2)周围。

4.根据权利要求3所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述支撑盘(3)靠近所述转轴(4)的一端底部设置有一圈凸台(7)，所述凸台(7)通过至少三个铆钉(8)固定在所述转轴(4)上。

5.根据权利要求3所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述升降驱动机构包括固定于所述支撑板(6)上的第二电机(11)及位于所述第二电机(11)上部的伸缩杆(10)，所述伸缩杆(10)与所述凹型卡盘(9)固定连接，每个所述第二电机(11)与所述控制器(22)电连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述第二电机(11)通过固定架(12)固定在所述支撑板(6)上。

7.根据权利要求1所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述抽真空机构包括与所述开口(18)固定连接的抽真空管(19)，与所述抽真空管(19)连接的抽真空泵(20)及位于所述抽真空管(19)上的第一开关(21)，所述真空泵(20)与所述控制器(22)电连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于旋涂光刻胶的旋涂仪，其特征在于，所述供胶机构包括位于所述滴胶管(13)上部且与所述滴胶管(13)连通的供胶箱(14)及位于所述旋涂箱(1)外侧的所述滴胶管(13)上的计量泵(15)和第二开关(16)，所述计量泵(15)与所述控制器(22)电连接。