[实用新型]一种光刻胶配套材料烘干设备

权利要求书

1.一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：包括连接在光刻胶涂覆机与烘干机构之间的传送机构，所述传送机构包括支撑架(1)，连接在支撑架(1)上的传动轴(15)，套设在传动轴(15)上的传送履带，所述传动轴(15)上连接有驱动传动轴(15)旋转的驱动机构，所述支撑架(1)上连接有防尘罩(2)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述防尘罩(2)内连接有电加热管(4)和温度传感器(5)，所述防尘罩(2)外部连接有与温度传感器(5)电连接的温度显示屏，所述防尘罩(2)顶部设置有多个出气孔(3)。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述驱动机构包括电机(17)，所述电机(17)的输出轴通过联轴器与所述传动轴(15)连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述烘干机构包括连接在支撑架(1)上的烘干仓(13)，靠近传动履带(16)一侧的烘干仓(13)上设置有光刻胶晶片基板进入的入口，另一侧设置有出口，所述入口和出口处通过滑动机构均连接有密封门，所述烘干仓(13)内连接有用于放置光刻胶晶片基板的放置板(14)，所述烘干仓(13)内连接有热风机(10)构。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述热风机(10)构包括与烘干仓(13)连通的进风管(9)，所述进风管(9)上连接有热风机(10)，所述烘干仓(13)上设置有出风口(11)。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：延伸至烘干仓(13)内的进风管(9)上连接有中空的出风腔(6)，所述出风腔(6)上连接有多个出风孔(12)。

7.根据权利要求5所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：延伸至烘干仓(13)外部的进风管(9)上连接有支管(8)，所述支管(8)上连接有冷风机(7)。

8.根据权利要求4所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：所述滑动机构包括设置在烘干仓(13)上的滑轨(18)，所述密封门上连接有与所述滑轨(18)配合的滑块(19)，所述滑块(19)上连接有驱动滑块(19)移动的电动伸缩杆(20)，所述电动伸缩杆(20)电连接有PLC控制器。

9.根据权利要求8所述的一种光刻胶配套材料烘干设备，其特征在于：靠近传动履带(16)一侧的密封门上连接有触碰传感器，所述触碰传感器与所述PLC控制器电连接，所述烘干仓(13)采用透明材料制作。