[实用新型]一种光刻胶软烘干机构

权利要求书

1.一种光刻胶软烘干机构，包括进给部（1）、干燥部（2）和温变部（3），其特征在于：所述进给部（1）包括传输机（101），所述传输机（101）的传输带表面沿进给方向均匀布置安装孔（102）；

所述传输机（101）的传输带上方设置干燥部（2），所述干燥部（2）包括下端开口的壳体，所述传输带穿过壳体内部，且壳体的两侧分别设置通气孔，两侧的通气孔之间设置连通的风管（203），所述风管（203）处于壳体外部，且风管（203）内部串接干燥盒（201）；

传输机（101）的传输带下方布置温变部（3），所述温变部（3）包括能够上下移动的热板（301）和冷板（302），所述热板（301）与冷板（302）的间距为相邻安装孔（102）之间间距的整数倍，所述热板（301）处于干燥部（2）的下方，所述冷板（302）处于干燥部（2）外部的传输带下方。

2.根据权利要求1所述的光刻胶软烘干机构，其特征在于：所述干燥部（2）的壳体内部沿进给方向通过隔板分割为三个仓室，所述热板（301）处于中间仓室的正下方，壳体的中间仓室与下游仓室的侧壁分别设置通气孔，所述通气孔外部连通设置风管（203）。

3.根据权利要求1所述的光刻胶软烘干机构，其特征在于：所述干燥盒（201）内部转动安装涡轮扇叶（204），所述涡轮扇叶（204）的输入轴处安装电机（202），所述干燥盒（201）的进气口和排气口处均设置干燥剂填充袋（205）。

4.根据权利要求1所述的光刻胶软烘干机构，其特征在于：所述热板（301）和冷板（302）分别通过第一伸缩部（303）和第二伸缩部（304）与外置的机架安装，所述第一伸缩部（303）和第二伸缩部（304）均竖直布置。

5.根据权利要求1所述的光刻胶软烘干机构，其特征在于：所述热板（301）为PTC发热体，所述冷板（302）为金属板，所述冷板（302）内部布置螺旋的冷却管（305），所述冷却管（305）与外置的冷却水循环装置连通。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的光刻胶软烘干机构，其特征在于：所述安装孔（102）内部水平转动安装转动环（103），所述转动环（103）的底部设置棘齿，且安装孔（102）的上端设置向上的延伸边，所述延伸边侧壁设置缺口。