[实用新型]一种洁净室

权利要求书

1.一种洁净室，其特征在于，包括由上到下依次设置的上技术夹层、洁净生产层、下技术夹层，还包括连通上技术夹层及下技术夹层的回风夹道，其中，洁净生产层和下技术夹层之间通过支撑件和设置于所述支撑件上的活动地板分隔，所述活动地板由设置有开孔的活动板和未设置开孔的固定板拼接而成，所述活动地板包括由靠近回风夹道一侧向远离回风夹道一侧排列的多个子区域，各所述子区域内的活动板上设置有多个开孔，且每个所述子区域内的活动地板的有效开孔率(N)的计算公式为：

N：洁净室在当前子区域内的活动地板的有效开孔率(％)；

F：当前子区域内总循环空气量(m³/h)；

A：当前子区域内的活动地板总面积(m²)；

B：当前子区域内的设备基础面积(m²)；

C：当前子区域内的工艺设备底座遮挡通风面积(m²)；

V：人为设定的活动板上的开孔口断面风速(m/s)。

2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，每个所述子区域内的活动地板的总开孔率(D)的计算公式为：

D：洁净室在当前子区域内的活动地板的总开孔率(m²)；

N：洁净室在当前子区域内的活动地板的有效开孔率(％)；

A：当前子区域内的活动地板总面积(m²)；

B：当前子区域内的设备基础面积(m²)；

C：当前子区域内的工艺设备底座遮挡通风面积(m²)。

3.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，在上技术夹层中的出风口均匀布置且每个出风口风量相同的情况下，距离所述回风夹道越远的子区域内的所述活动地板的总开孔率越大以使所述洁净生产层内的气流均匀。

4.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室为矩形，当所述洁净室内沿第一侧边设置有回风夹道时，每个所述子区域的形状均为矩形且所述子区域沿垂直于所述第一侧边的方向排列。

5.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室为矩形，当所述洁净室内沿相邻的第一侧边和第二侧边设置有回风夹道时，靠近所述回风夹道的每个所述子区域的形状均为“L”形，且“L”形子区域的第一部分与第一侧边平行、第二部分与第二侧边平行；最远离所述回风夹道的一个子区域的形状为矩形。

6.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室为矩形，当所述洁净室内沿两个相对的第一侧边和第三侧边设置有回风夹道时，每个所述子区域的形状均为矩形且所述子区域沿垂直于所述第一侧边和第三侧边的方向排列。

7.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室为矩形，当所述洁净室内沿第一侧边、第二侧边和第三侧边设置有回风夹道时，靠近所述回风夹道的每个所述子区域的形状均为“U”形，所述“U”形的子区域中两个相互平行的第一部分分别平行于第一侧边和第三侧边，两个所述第一部分中间的第二部分平行于位于所述第一侧边与第三侧边之间的第二侧边；最远离所述回风夹道的一个子区域的形状为矩形。

8.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室为矩形，当所述洁净室内沿洁净室的四个侧边均设置有回风夹道时，靠近所述回风夹道的每个所述子区域的形状均为“回”形；最远离所述回风夹道的一个子区域为由“回”形子区域围成的矩形。

9.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，还包括设置于所述下技术夹层内靠近所述活动地板一侧的风量调节阀。

10.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述支撑件为华夫板或隔构梁或奇式桶。

11.根据权利要求10所述的洁净室，其特征在于，当所述支撑件为华夫板或隔构梁或奇式桶时，所述活动板为开孔地板，或，当所述支撑件为奇式桶时，所述活动板为开孔盖板。