[实用新型]一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备

说明书

本实用新型涉及石墨烯负极材料生产技术领域，且公开了一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，包括底座，所述底座的顶部左右两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的顶部均与气相沉积箱固定连接，气相沉积箱的左右两侧底部均固定安装有排气管，底座的顶部固定安装有位于两个所述支撑杆之间的电机，电机的输出轴贯穿且延伸至气相沉积箱并与转盘固定连接，转盘的底部左右两侧均固定安装有与气相沉积箱的内腔底壁接触的滚轮马达。该石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，该结构可达到多角度镀膜的效果，可避免出现死角或者喷涂不到的现象，可提高喷涂效率，避免手动换面或者重新喷涂，增加了该设备的加工效率。

技术领域

本实用新型涉及石墨烯负极材料生产技术领域，具体为一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备。

背景技术

气相沉积技术是利用气相中发生的物理和化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层，气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。

目前市场上现有的石墨烯负极材料生产用气相沉积设备都有方便喷涂和结构简单的效果，但是现有的石墨烯负极材料生产用气相沉积设备在对产品进行喷涂时可能会出现喷涂不均匀或者喷涂不完整的情况，此时就需要换面或者重新喷涂，非常的费时费力，故而提出一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，具备可多角度喷涂等优点，解决了现有的石墨烯负极材料生产用气相沉积设备在对产品进行喷涂时可能会出现喷涂不均匀或者喷涂不完整的情况，此时就需要换面或者重新喷涂，非常的费时费力的问题。

(二)技术方案

为实现上述可多角度喷涂的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，包括底座，所述底座的顶部左右两侧均固定安装有支撑杆，两个所述支撑杆的顶部均与气相沉积箱固定连接，气相沉积箱的左右两侧底部均固定安装有排气管，底座的顶部固定安装有位于两个所述支撑杆之间的电机，电机的输出轴贯穿且延伸至气相沉积箱并与转盘固定连接，转盘的底部左右两侧均固定安装有与气相沉积箱的内腔底壁接触的滚轮，所述转盘的顶部左右两侧均固定安装有固定板，右侧所述固定板的右侧固定安装有与转盘固定连接的马达，马达的输出轴贯穿且延伸至右侧所述固定板的左侧并与定位板固定连接，左侧所述固定板的右侧顶部和底部均固定安装有推动弹簧，两个所述推动弹簧的右侧均与调节板固定连接，调节板的左侧且位于两个所述推动弹簧的之间固定安装有贯穿且延伸至左侧所述固定板左侧的拉杆，拉杆的左侧固定安装有拉手，调节板的内部活动安装有贯穿且延伸至调节板右侧的转动杆，转动杆的右侧固定安装有夹持板，气相沉积箱的顶部固定安装有贯穿且延伸至气相沉积箱内部的进气管，进气管的底部固定安装有分流管，分流管的底部固定安装有喷头，气相沉积箱的正面左侧通过数量为两个的合页与箱门固定连接。

优选的，所述夹持板与定位板相对的一侧均固定安装有耐磨层，且左右两侧所述耐磨层相对的一侧均设置有凸块。

优选的，所述调节板的右侧开设有T型槽，T型槽的左侧直径大于其右侧直径，且T型槽的槽内活动安装有圆形块，且圆形块的右侧与转动杆固定连接，圆形块与T型槽的左侧直径相适配，转动杆的直径与T型槽的右侧直径相适配。

优选的，所述滚轮由U形块、转轴和滚动轮组成，且U形块与转盘固定连接，U形块的内部通过转轴与延伸至U形块底部的滚动轮活动连接。

优选的，所述气相沉积箱的内腔底壁开设有与滚轮相适配的凹槽，所述转盘为圆形盘，且凹槽为圆形槽。

优选的，所述箱门的上下左右侧均设置有密封垫，且箱门的正面开设有安装槽，且安装槽的槽内固定安装有观测窗。

(三)有益效果