[实用新型]一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备

权利要求书

1.一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部左右两侧均固定安装有支撑杆(2)，两个所述支撑杆(2)的顶部均与气相沉积箱(3)固定连接，气相沉积箱(3)的左右两侧底部均固定安装有排气管(4)，底座(1)的顶部固定安装有位于两个所述支撑杆(2)之间的电机(5)，电机(5)的输出轴贯穿且延伸至气相沉积箱(3)并与转盘(6)固定连接，转盘(6)的底部左右两侧均固定安装有与气相沉积箱(3)的内腔底壁接触的滚轮(7)，所述转盘(6)的顶部左右两侧均固定安装有固定板(8)，右侧所述固定板(8)的右侧固定安装有与转盘(6)固定连接的马达(9)，马达(9)的输出轴贯穿且延伸至右侧所述固定板(8)的左侧并与定位板(10)固定连接，左侧所述固定板(8)的右侧顶部和底部均固定安装有推动弹簧(11)，两个所述推动弹簧(11)的右侧均与调节板(12)固定连接，调节板(12)的左侧且位于两个所述推动弹簧(11)的之间固定安装有贯穿且延伸至左侧所述固定板(8)左侧的拉杆(13)，拉杆(13)的左侧固定安装有拉手(14)，调节板(12)的内部活动安装有贯穿且延伸至调节板(12)右侧的转动杆(15)，转动杆(15)的右侧固定安装有夹持板(16)，气相沉积箱(3)的顶部固定安装有贯穿且延伸至气相沉积箱(3)内部的进气管(17)，进气管(17)的底部固定安装有分流管(18)，分流管(18)的底部固定安装有喷头(19)，气相沉积箱(3)的正面左侧通过数量为两个的合页与箱门(20)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，其特征在于：所述夹持板(16)与定位板(10)相对的一侧均固定安装有耐磨层，且左右两侧所述耐磨层相对的一侧均设置有凸块。

3.根据权利要求1所述的一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，其特征在于：所述调节板(12)的右侧开设有T型槽，T型槽的左侧直径大于其右侧直径，且T型槽的槽内活动安装有圆形块，且圆形块的右侧与转动杆(15)固定连接，圆形块与T型槽的左侧直径相适配，转动杆(15)的直径与T型槽的右侧直径相适配。

4.根据权利要求1所述的一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，其特征在于：所述滚轮(7)由U形块、转轴和滚动轮组成，且U形块与转盘(6)固定连接，U形块的内部通过转轴与延伸至U形块底部的滚动轮活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，其特征在于：所述气相沉积箱(3)的内腔底壁开设有与滚轮(7)相适配的凹槽，所述转盘(6)为圆形盘，且凹槽为圆形槽。

6.根据权利要求1所述的一种石墨烯负极材料生产用气相沉积设备，其特征在于：所述箱门(20)的上下左右侧均设置有密封垫，且箱门(20)的正面开设有安装槽，且安装槽的槽内固定安装有观测窗。