[实用新型]一种硅片生产用脱胶机内转运装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称设置的连接块，所述连接块和另一连接块内侧固定连接有底板，所述固定板内活动连接有第一电机，所述底板上端固定连接有左右对称的支架，所述支架和另一支架间转动连接有转动轴，所述转动轴外侧固定连接有对称设置的第一链轮。该硅片生产用脱胶机内转运装置，减小移动时的摩擦阻力，带动置物板进行上下位置的调整，便于将置物板上的硅片移动至另一工序处，进一步限定置物板的方向，提高稳定性。

技术领域

本实用新型涉及转运装置技术领域，具体为一种硅片生产用脱胶机内转运装置。

背景技术

硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。

随着硅片在航空航天、国防和工业自动化等领域的广泛应用，硅片的生产工艺不断改进，为了保证硅片的正常使用，硅片需要在脱胶机内进行多道工序的脱胶操作，因此脱胶机内的转运装置必不可少，但是现有的转运装置存在运动平稳性低，操作不方便，硅片在装置内抖动性较大的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片生产用脱胶机内转运装置，以解决上述背景技术中提出运动平稳性低，操作不方便，硅片在装置内抖动性较大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称设置的连接块，所述连接块和另一连接块内侧固定连接有底板，所述固定板内活动连接有第一电机，所述底板上端固定连接有左右对称的支架，所述支架和另一支架间转动连接有转动轴，所述转动轴外侧固定连接有对称设置的第一链轮。

优选的，所述底板下端固定连接有第二电机，所述第二电机和转动轴右端外侧均固定连接有第二链轮，所述第二链轮和另一第二链轮间啮合连接有第二链条。

优选的，所述底板和另一底板内侧均开设有对称设置的凹槽，所述第一链轮外侧啮合连接有第一链条，所述第一链条下端穿过凹槽固定连接有置物板，且第一链条与凹槽一一对应。

优选的，所述固定板内下端开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块上端固定连接有第一电机。

优选的，所述第一电机上电机轴外侧固定连接有齿轮，所述固定板和另一固定板内侧上端均固定连接有齿条，所述齿条和齿轮为啮合连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该硅片生产用脱胶机内转运装置，通过齿轮和齿条的配合使用，带动滑轮左右方向移动，电机下端通过滑动块与固定板内的滑动槽滑动连接，减小移动时的摩擦阻力，提高移动的流畅性，同时滑轮与固定板上的滑轨滑动连接，限定滑轮的方向，进一步提高运动的平稳性，在第一链轮、第一链条、第二链轮、第二链条和第二电机的相互作用下，带动置物板进行上下位置的调整，便于将置物板上的硅片移动至另一工序处，且底板上开设有与第一链条相对应的凹槽，进一步限定置物板的方向，提高稳定性。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型正面结构示意图；

图3为本实用新型侧面结构示意图；

图4为本实用新型俯视结构示意图；

图5为本实用新型底板和置物板正面结构示意图；

图6为本实用新型剖面结构示意图。