[实用新型]一种硅片生产用脱胶机内转运装置

权利要求书

1.一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，其特征在于：所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称设置的连接块，所述连接块和另一连接块内侧固定连接有底板，所述固定板内活动连接有第一电机，所述底板上端固定连接有左右对称的支架，所述支架和另一支架间转动连接有转动轴，所述转动轴外侧固定连接有对称设置的第一链轮。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述底板下端固定连接有第二电机，所述第二电机和转动轴右端外侧均固定连接有第二链轮，所述第二链轮和另一第二链轮间啮合连接有第二链条。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述底板和另一底板内侧均开设有对称设置的凹槽，所述第一链轮外侧啮合连接有第一链条，所述第一链条下端穿过凹槽固定连接有置物板，且第一链条与凹槽一一对应。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述固定板内下端开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块上端固定连接有第一电机。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述第一电机上电机轴外侧固定连接有齿轮，所述固定板和另一固定板内侧上端均固定连接有齿条，所述齿条和齿轮为啮合连接。