[实用新型]一种半导体芯片生产用浸没式光刻机

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括工作台，所述工作台的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有探测头，所述工作台的顶部滑动连接有移动托盘，且移动托盘上固定连接有横向位置调节组件，所述工作台的顶部固定安装有顶部设置有开口的处理箱，所述处理箱的一侧转动铰接有密封门。本实用新型结构简单，可以机械化的对硅片进行清洗、烘干，无需人工操作，大大节省了人力，同时可以为满足对硅片的生产需要，同时可以对硅片的横向位置进行调节，使得此光刻机本体可以对不同硅片进行光刻，使用方便，具有较强的实用性。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种半导体芯片生产用浸没式光刻机。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，是指在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，不同光刻机的成像比例不同，有5:1，也有4:1。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图（即芯片）。

而现有的浸没式光刻机在使用的过程中，需要先对制作的硅片进行清洗，清洗完毕之后再进行烘干，随后进行涂胶，但是这样的生产步骤一般需要人工进行操作，而人工操作无疑需要较长的时间，进而会影响制造硅片的生产效率，不符合现在社会的发展需要，所以我们提出了一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，用以解决上述所提出的问题。

实用新型内容

基于背景技术存在的技术问题，本实用新型提出了一种半导体芯片生产用浸没式光刻机。

本实用新型提出的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括工作台，所述工作台的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有探测头，所述工作台的顶部滑动连接有移动托盘，且移动托盘上固定连接有横向位置调节组件，所述工作台的顶部固定安装有顶部设置有开口的处理箱，所述处理箱的一侧转动铰接有密封门，所述处理箱的顶部固定安装有对称设置两个支撑板，且两个支撑板相互靠近的一侧固定安装有同一个横板，所述横板的底部固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴上设置有夹持组件，且夹持组件上夹持固定有硅片，所述处理箱内设置有清洗组件和烘干组件。

优选的，所述横向位置调节组件包括固定安装在工作台上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有螺杆，所述移动托盘的底部固定安装有移动块，且螺杆贯穿移动块并和移动块螺纹连接，当需要将移动托盘横向调节位置时，此时启动驱动电机，驱动电机会带动螺杆进行转动，而螺杆和移动块螺纹连接，所以可以带动移动托盘进行横向位置移动。

优选的，所述夹持组件包括固定安装在推杆电机输出轴上的安装板，所述安装板的底部固定安装有挡板，所述安装板的底部滑动连接有夹持板，所述安装板的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上焊接有转动轴，且转动轴的底部延伸至安装板的下方并固定安装有第二伞齿轮，所述安装板的底部转动连接有丝杆，所述丝杆延伸至夹持板内并和夹持板螺纹连接，所述丝杆上固定套设有第一伞齿轮，且第一伞齿轮和第二伞齿轮相啮合，所述硅片位于夹持板和挡板之间，当需要利用夹持组件对硅片进行夹紧固定时，此时将硅片放置在夹持板和挡板之间，然后启动旋转电机，旋转电机会带动丝杆进行转动，而丝杆和夹持板螺纹连接，所以可以推动夹持板进行横向移动，进而利用夹持板可以对硅片进行夹持固定。