[实用新型]一种半导体芯片生产用浸没式光刻机

权利要求书

1.一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括工作台，其特征在于，所述工作台的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有探测头，所述工作台的顶部滑动连接有移动托盘，且移动托盘上固定连接有横向位置调节组件，所述工作台的顶部固定安装有顶部设置有开口的处理箱，所述处理箱的一侧转动铰接有密封门，所述处理箱的顶部固定安装有对称设置两个支撑板，且两个支撑板相互靠近的一侧固定安装有同一个横板，所述横板的底部固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴上设置有夹持组件，且夹持组件上夹持固定有硅片，所述处理箱内设置有清洗组件和烘干组件。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述横向位置调节组件包括固定安装在工作台上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有螺杆，所述移动托盘的底部固定安装有移动块，且螺杆贯穿移动块并和移动块螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述夹持组件包括固定安装在推杆电机输出轴上的安装板，所述安装板的底部固定安装有挡板，所述安装板的底部滑动连接有夹持板，所述安装板的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上焊接有转动轴，且转动轴的底部延伸至安装板的下方并固定安装有第二伞齿轮，所述安装板的底部转动连接有丝杆，所述丝杆延伸至夹持板内并和夹持板螺纹连接，所述丝杆上固定套设有第一伞齿轮，且第一伞齿轮和第二伞齿轮相啮合，所述硅片位于夹持板和挡板之间。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗组件包括固定安装在处理箱底部内壁上的清洗箱，所述清洗箱的底部内壁上固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴延伸至清洗箱内并固定安装有固定板，所述固定板的顶部固定安装有对称设置的两个搅拌轴，所述工作台的顶部固定安装有储液箱，所述储液箱内设置有清洗液，所述处理箱的一侧内壁上固定安装有水泵，且水泵的进液管和储液箱相连接，所述水泵的出液管延伸至清洗箱内。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述烘干组件包括固定安装在处理箱一侧的热风机，清洗箱的一侧固定设置有与内部相连通的吹风管，且吹风管和热风机的出风口相连通。

6.根据权利要求3所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述夹持板的顶部固定安装有滑块，所述安装板的底部固定安装有滑轨，且滑块和滑轨滑动连接。

7.根据权利要求4所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗箱的底部内壁上固定安装有出水管，且出水管的一端延伸至清洗箱的一侧，位于清洗箱一侧的出水管的一端设置有电磁阀。

8.根据权利要求4所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗箱内固定安装有与侧壁相贴合的滤网，且滤网位于固定板的下方。