[实用新型]一种自动晶圆清洗涂胶装置

权利要求书

1.一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，该装置包括外壳和晶圆清洗涂胶机，所述外壳包括有框架和底座，所述框架固定在底座上，所述框架和底座形成有容纳空腔，所述晶圆清洗涂胶机固定在容纳空腔内，所述框架上活动连接有可变宽度流道，所述框架上还固定设置有活动夹持装置。

2.如权利要求1所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述框架上包括有前流道固定杆、后流道固定杆和中流道固定杆，所述前流道固定杆、后流道固定杆和中流道固定杆分别位于框架前端、后端和中端，所述前流道固定杆、后流道固定杆和中流道固定杆分别和可变宽度流道活动连接。

3.如权利要求2所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述可变宽度流道包括前流道和后流道，所述前流道和后流道均滑动连接在框架上，所述后流道固定杆和中流道固定杆均与后流道活动连接，所述前流道固定杆和中流道固定杆均与前流道活动连接，所述前流道和后流道均由两根滑动轨道构成。

4.如权利要求1所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述活动夹持装置包括双面气缸夹爪机构和直线运动机构，所述直线运动机构固定设置在框架上，所述双面气缸夹爪机构包括有夹爪主体、双面气缸夹爪和夹爪升降气缸，所述双面气缸夹爪和夹爪升降气缸均固定在夹爪主体上，所述夹爪主体和直线运动机构活动连接。

5.如权利要求4所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述夹爪主体包括夹爪上主体和夹爪下主体，所述夹爪上主体和夹爪下主体活动连接，所述夹爪下主体和直线运动机构活动连接，所述夹爪上主体和双面气缸夹爪固定连接，所述夹爪升降气缸分别与夹爪上主体和夹爪下主体固定连接。

6.如权利要求1所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述晶圆清洗涂胶机设置在容纳空腔右侧，所述晶圆清洗涂胶机包括有清洗涂胶机主体、清洗涂胶装置和清洗涂胶平台，清洗涂胶装置设置在涂胶机主体的侧壁上，清洗涂胶平台设置在清洗涂胶机主体中部，所述清洗涂胶装置包括喷嘴旋转结构、喷嘴机构、流量控制系统和废液收集系统，所述喷嘴旋转结构固定在清洗涂胶机主体上，所述喷嘴机构固定在喷嘴旋转结构上。

7.如权利要求6所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述清洗涂胶机主体上设置有与喷嘴机构和喷嘴旋转结构适配的避位空腔。

8.如权利要求6所述的一种自动晶圆清洗涂胶装置，其特征在于，所述涂胶平台包括有陶盘旋转机构、陶盘升降机构、陶盘吸附平台和气动压盘，所述气动压盘固定在陶盘旋转机构上，所述陶盘吸附平台固定在陶盘旋转机构上，所述陶盘旋转机构固定在陶盘升降机构上，所述陶盘升降机构固定在清洗涂胶机主体上。